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半導(dǎo)體器件和集成電路對光刻曝光技術(shù)提出了越來越高的要求，在單位面積上要求完善傳遞圖像的信息量已接近常規(guī)光學(xué)的極限。光刻曝光的常用波長是3650～4358 埃，預(yù)計實用分辨率約為1微米。幾何光學(xué)的原理，允許將波長向下延伸至約2000埃的遠(yuǎn)紫外波長，此時可達(dá)到的實...

28、頂板頂板是在凹模或模塊內(nèi)活動的板狀零件，以向上動作直接或間接頂出工（序）件或廢料。29、齒圈齒圈是精沖凹?；驇X壓料板上的成圈齒形突起，是凹?；驇X壓料板的局部結(jié)構(gòu)而不是單獨的零件。30、限位套限位套是用于限制沖模**小閉合高度的管狀零件，一般套于導(dǎo)柱外...

b、堅膜，以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護(hù)下表面的能力；c、進(jìn)一步增強(qiáng)光刻膠與硅片表面之間的黏附性；d、進(jìn)一步減少駐波效應(yīng)（Standing Wave Effect）。常見問題：a、烘烤不足（Underbake）。減弱光刻膠的強(qiáng)度（抗刻蝕能力和離子注入中的阻...

廣角鏡頭又分為普通廣角鏡頭和超廣角鏡頭兩種。135照相機(jī)普通廣角鏡頭的焦距一般為38－24毫米，視角為60－84度；超廣角鏡頭的焦距為20－13毫米，視角為94-118度。由于廣角鏡頭的焦距短，視角大，在較短的拍攝距離范圍內(nèi)，能拍攝到較大面積的景物。所以，**...

我們建議攝影入門用戶在攝影學(xué)習(xí)階段，除了相機(jī)上已經(jīng)配備的套裝鏡頭之外，不必再購買任何鏡頭。以后成為“高手”時，再考慮較長焦距的鏡頭。即使到那時，除非對遠(yuǎn)攝鏡頭具有特殊的需求，并且資金也不成問題，否則我們建議不要考慮超過200mm的任何鏡頭。如果偶爾需要遠(yuǎn)攝鏡頭...

機(jī)械手關(guān)節(jié)減速機(jī)是一種通過電機(jī)驅(qū)動實現(xiàn)自動化角度調(diào)整的精密傳動裝置，具有重復(fù)定位精度≤5秒的特點，適配AC伺服或步進(jìn)馬達(dá)。其穩(wěn)重承載能力和高精度特性使其廣泛應(yīng)用于精密加工機(jī)床、航太工業(yè)、半導(dǎo)體設(shè)備、印刷機(jī)械，食品包裝、自動化產(chǎn)業(yè)、工業(yè)機(jī)器人、醫(yī)療檢驗、精密測試...

已找到一個制造于5或6世紀(jì)拜占庭帝國，和一個日晷相連接的日期齒輪的殘?。辉搩x器可能是做為報時輔助。在**世界中，西元9世紀(jì)早期阿拉伯帝國的哈里發(fā)委托巴努·穆薩寫下的《巧妙設(shè)備之書》（Book of Ingenious Devices，暫譯）。該書描述了超過一百...

德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯提出該裝置可能是公開展示，地點或許是羅德島上的博物館或公共會堂。羅德島在當(dāng)時是以機(jī)械工程聞名，尤其是羅德島人擅長的自動機(jī)械。古希臘九大抒情詩人中的品達(dá)在他的第七首奧林匹克頌中提及：The animated figures stand...

早在80年代，極紫外光刻技術(shù)就已經(jīng)開始理論的研究和初步的實 驗，該技術(shù) 的光源是波 長 為11～14 nm的極端遠(yuǎn)紫外光，其原理主要是利用曝光光源極短的波長達(dá)到提高光刻技術(shù)分辨率的目的。由于所有的光學(xué)材料對該波長的光有強(qiáng)烈的吸收，所以只能采取反射式的光路。EU...

主要流程光復(fù)印工藝的主要流程如圖2：曝光方式常用的曝光方式分類如下：接觸式曝光和非接觸式曝光的區(qū)別，在于曝光時掩模與晶片間相對關(guān)系是貼緊還是分開。接觸式曝光具有分辨率高、復(fù)印面積大、復(fù)印精度好、曝光設(shè)備簡單、操作方便和生產(chǎn)效率高等特點。但容易損傷和沾污掩模版和...

b、接近式曝光（Proximity Printing）。掩膜板與光刻膠層的略微分開，大約為10～50μm。可以避免與光刻膠直接接觸而引起的掩膜板損傷。但是同時引入了衍射效應(yīng)，降低了分辨率。1970后適用，但是其最大分辨率*為2～4μm。c、投影式曝光（Proj...

兩種工藝常規(guī)光刻技術(shù)是采用波長為2000～4500埃的紫外光作為圖像信息載體，以光致抗蝕劑為中間（圖像記錄）媒介實現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理，**終把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質(zhì)層上的一種工藝。在廣義上，它包括光復(fù)印和刻蝕工藝兩個主要方面。①光復(fù)印工藝...

⒊定焦廣角鏡頭一般都比涵蓋相應(yīng)焦距段的變焦鏡頭體積小，重量輕。這能使你的相機(jī)將不那么扎眼，便于抓拍。⒋廣角定焦鏡頭一般都比變焦鏡頭的廣角段成像好，這是鏡頭的設(shè)計所決定的，變焦鏡頭由于要考慮所有焦距段都有相對好的成像，就要**局部的利益讓整體有一個相對好的表現(xiàn)。...

11、導(dǎo)柱導(dǎo)柱是為上、下模座相對運動提供精密導(dǎo)向的圓柱形零件，多數(shù)固定在下模座，與固定在上模座的導(dǎo)套配合使用。12、導(dǎo)正銷導(dǎo)正銷是伸入材料孔中導(dǎo)正其在凹模內(nèi)位置的銷形零件。13、導(dǎo)板模導(dǎo)板模是以導(dǎo)板作導(dǎo)向的沖模，模具使用時凸模不脫離導(dǎo)板。14、導(dǎo)料板導(dǎo)料板是引...

浸沒式光刻機(jī)是通過在物鏡與晶圓之間注入超純水，等效縮短光源波長并提升數(shù)值孔徑，從而實現(xiàn)更高分辨率的半導(dǎo)體制造**設(shè)備。2024年9月工信部文件顯示，國產(chǎn)氟化氬浸沒式光刻機(jī)套刻精度已達(dá)到≤8nm水平。該技術(shù)研發(fā)涉及浸液系統(tǒng)、光學(xué)控制等多項復(fù)雜工藝，林本堅團(tuán)隊在浸...

EUV光刻采用波長為10-14納米的極紫外光作為光源，可使曝光波長一下子降到13.5nm,它能夠把光刻技術(shù)擴(kuò)展到32nm以下的特征尺寸。根據(jù)瑞利公式（分辨率=k1·λ/NA），這么短的波長可以提供極高的光刻分辨率。換個角度講，使用193i與EUV光刻機(jī)曝同一個...

其主要成像原理是光波波長為10～14nm的極端遠(yuǎn)紫外光波經(jīng)過周期性多層膜反射鏡投射到反射式掩模版上，通過反射式掩模版反射出的極紫外光波再通過由多面反射鏡組成的縮小投影系統(tǒng)，將反射式掩模版上的集成電路幾何圖形投影成像到硅片表面的光刻膠中，形成集成電路制造所需要的...

42、始用擋料銷（板）始用擋料銷（板）是供材料起始端部送進(jìn)時定位用的零件。始用擋料銷（板）都是移動式的。43、拼塊塊是組成一個完整凹模、凸模、卸料板或固定板等的各個拼合零件。44、擋塊（板）擋塊（板）是供經(jīng)側(cè)刃切出缺口的材料送進(jìn)時定位用的淬硬零件，兼用以平衡側(cè)...

魚眼鏡頭的體積較大。以適用于35毫米單鏡頭反光照相機(jī)的魚眼鏡頭為例，當(dāng)將這種魚眼鏡頭安裝在體積較小的35毫米單鏡頭反光照相機(jī)機(jī)身上時，有一種“頭（鏡頭）大身體（機(jī)身）小”的感覺，且由于魚眼鏡頭重量不輕（如尼柯爾6毫米/F2.8手動對焦魚眼鏡頭重達(dá)5200克），...

廣角鏡頭的基本特點是，鏡頭視角大，視野寬闊。從某一視點觀察到的景物范圍要比人眼在同一視點所看到的大得多；景深長，可以表現(xiàn)出相當(dāng)大的清晰范圍；能強(qiáng)調(diào)畫面的******效果，善于夸張前景和表現(xiàn)景物的遠(yuǎn)近感，這有利于增強(qiáng)畫面的***力。 [1]焦距比標(biāo)準(zhǔn)鏡頭 短，但...

目 前EUV技 術(shù) 采 用 的 曝 光 波 長 為13．5nm，由于其具有如此短的波長，所有光刻中不需要再使用光學(xué)鄰近效應(yīng)校正（OPC）技術(shù)，因而它可以把光刻技術(shù)擴(kuò)展到32nm以下技術(shù)節(jié)點。2009年9月Intel*** 次 向 世 人 展 示 了22 nm工...

遠(yuǎn)攝鏡頭也稱為長焦距鏡頭，是指比標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的焦距長的攝影鏡頭。長焦距鏡頭分為普通遠(yuǎn)攝鏡頭和超遠(yuǎn)攝鏡頭兩類，普通遠(yuǎn)攝鏡頭的焦距長度接近標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，而超遠(yuǎn)攝鏡頭的焦距卻遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。遠(yuǎn)攝鏡頭是攝影輔助鏡頭的一種。鏡頭主焦距***地大于底片對角線長度(即大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭...

四是，鏡頭的焦距越長，相機(jī)就必須把握得越穩(wěn)定，以避免影像模糊。經(jīng)驗準(zhǔn)則是只有當(dāng)快門速度至少等于鏡頭焦距毫米數(shù)的倒數(shù)時才能夠手持鏡頭進(jìn)行拍攝，也稱為“安全快門”。也就是說，當(dāng)快門速度低于1/100秒時就不能手持100mm鏡頭拍攝，低于1/500秒時就不能手持50...

西塞羅的著作《論共和國》，一本西元前一世紀(jì)的哲學(xué)對話錄，提及兩個現(xiàn)代被認(rèn)為是某種天象儀或太陽系儀的儀器，可以預(yù)測日月和五顆行星在天球的位置。這兩個儀器都是由阿基米德制造，在阿基米德于西元前212年的敘拉古圍城戰(zhàn)身亡后，這兩臺機(jī)器被羅馬將領(lǐng)馬庫斯·克勞迪烏斯·馬...

德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯經(jīng)過前人數(shù)十年為了了解該裝置的研究后，1951年英國科學(xué)歷史學(xué)家德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯對該機(jī)械進(jìn)行了系統(tǒng)性研究。普萊斯以標(biāo)題“時鐘以前的發(fā)條裝置”（Clockwork before the Clock）和“發(fā)條裝置的由來”（O...

善的評價莫過于MTF （Modulation Transfer Function）。但是由于像差（標(biāo)定的原因），鏡頭的每個范圍都有一個MTF值。這些范圍指的是：（1）近軸部分，（2）離軸部分，（3）當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)存在不對稱畸變時，上述兩部分在不同方向上的子部分。每...

光刻系統(tǒng)SUSS是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的工藝試驗儀器，其比較大基片尺寸為6英寸，可實現(xiàn)0.5μm的分辨率和1μm的**小線寬 [1]。該系統(tǒng)通過精密光學(xué)曝光技術(shù)完成微電子器件的圖形轉(zhuǎn)移，為集成電路研發(fā)和生產(chǎn)提供關(guān)鍵工藝支持。比較大基片處理能力：支持直徑6英...

廣角鏡頭又稱短鏡頭。攝影輔助鏡頭的一種。鏡頭焦距***地小于像場直徑(底片對角線長度)，約為6～35毫米;視角大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，約為53°以上直至220°。相對口徑一般較小。廣角透鏡在十九世紀(jì)六十年代快直光鏡頭出現(xiàn)后即產(chǎn)生，此后經(jīng)種種演變，已成攝影鏡頭中一個重要類...

1：可用機(jī)電式驅(qū)動器或液壓缸作為驅(qū)動動力。2：快速、精確地對卷材進(jìn)行定位，使用的卷材寬度可達(dá)1930mm（76.0″）。3：低摩擦滾珠軸套和轉(zhuǎn)動桿的設(shè)計。4：耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計可長時間連續(xù)使用，**降低維修的需要。5：可選配的伺服對中器提高設(shè)置和卷材線性速度。6：...

在曝光過程中，需要對不同的參數(shù)和可能缺陷進(jìn)行跟蹤和控制，會用到檢測控制芯片/控片（Monitor Chip）。根據(jù)不同的檢測控制對象，可以分為以下幾種：a、顆?？仄≒article MC）：用于芯片上微小顆粒的監(jiān)控，使用前其顆粒數(shù)應(yīng)小于10顆；b、卡盤顆?？?..