差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平,它是精確測量微量物品質(zhì)量的測量工具。使用者通過仔細調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達到嚴(yán)格平衡,這樣被測物的質(zhì)量就可通過砝碼反映出來。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣,首先我們將相同壓力的氣體同時充入到被測物和基準(zhǔn)物內(nèi),使差壓傳感器隔離板兩邊的壓力完全相等,然后觀察其平衡情況。若被測物不漏,那么差壓傳感器隔離板兩邊的壓力將保持平衡。如果被測物存在泄漏,那么它內(nèi)部的壓力會逐漸降低,平衡就被破壞。這樣傳感器就可以檢測出隔離板兩側(cè)因泄漏產(chǎn)生的差壓。而且,如果發(fā)生泄漏,泄漏率(ml/sec)的大小將直接反映在兩側(cè)壓力的失衡速度上。標(biāo)準(zhǔn)漏孔長期不用需進行定期活化處理。福建全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔外形
標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會縮短其壽命,只要定期維護和校準(zhǔn)可延長其有效的使用時間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn),熟悉其性能、特點、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計量誤差或設(shè)備損壞。長沙冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔的價格標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)避免接觸各類腐蝕性氣體介質(zhì)。
蘭州510所建立了國內(nèi)測量范圍較寬,不確定度較小的正壓漏率校準(zhǔn)裝置。計量院在2010年前后也搭建了一套試驗用正壓漏孔校準(zhǔn)裝置。并與今年正式立項建立正壓漏孔校準(zhǔn)裝置,涵蓋了專題中第二,三種正壓漏孔的校準(zhǔn)。上海市計量測試技術(shù)研究院在2004年建立國內(nèi)一套正常開展量值溯源的正壓漏率校準(zhǔn)校準(zhǔn)裝置,并通過CNAC實驗室認(rèn)證。近幾年來該裝置每年完成超過500件標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)服務(wù),在長期的校準(zhǔn)過程中驗證了裝置和校準(zhǔn)規(guī)范在量值的不確定度、長期穩(wěn)定性方面的成熟。為國內(nèi)起草該范圍的正壓漏孔的校準(zhǔn)規(guī)范做好了技術(shù)準(zhǔn)備。
冷媒標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可調(diào)漏率)VTL-20B型 ,漏孔元件為微通道毛細管,其漏率或校準(zhǔn)精度0.1g/a,漏率范圍:(0~10)g/a,支持客戶指定漏率或年泄漏量定制,如1g/a,2.5g/a,5g/a,…,也可以指定其他漏率單位, 如Pa·m3/s(≥5×10-6 Pa·m3/s), 大漏率10~100g/a亦可定制。 使用方法: 通過增壓或減壓閥旋鈕,調(diào)節(jié)到校準(zhǔn)點的對應(yīng)的漏率,氣瓶規(guī)格:雙罐設(shè)計,液態(tài)+氣態(tài),一次充注,長期使用,其優(yōu)點漏率穩(wěn)定、漏率可調(diào)、可重復(fù)充灌、使用成本低、便于攜帶等標(biāo)準(zhǔn)漏孔在制冷設(shè)備檢漏工作中很關(guān)鍵 。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率換算:1mbar.L/sec = 0.1Pa.m3/sec = 1/標(biāo)準(zhǔn)體積) = 59.23scc/min、1mbar.L/sec ≈ 1cc/sec, 直觀的來說, 1mbar.L/sec ≈ 1秒鐘泄漏1cc標(biāo)準(zhǔn)體積氣體、23℃,某氣體分子量=m,它的泄漏率為X mbar.L/s,換算成克/年見如下公式:X mbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m *(1/1.013)(克/年),漏孔壓力:一般分為表壓(相對大氣壓的壓差)和絕壓(相對真空的壓差)。漏孔絕壓:1個大氣壓+表壓。標(biāo)準(zhǔn)漏孔可用于檢漏人員的培訓(xùn)工作。蘇州通道型漏孔范圍
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率穩(wěn)定性直接影響檢測精度 。福建全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔外形
溫度對于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的性能有著明顯的影響,多數(shù)的漏孔需在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)來使用,以保證泄漏率的穩(wěn)定性。部分高精度漏孔會配備溫度補償裝置,從而減少環(huán)境溫度波動的影響。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)需要依托正規(guī)計量機構(gòu),通過與更高等級的標(biāo)準(zhǔn)裝置來比對,確定其實際泄漏率,并出具校準(zhǔn)證明,確保量值的溯源性。長期存放的標(biāo)準(zhǔn)漏孔需注意防潮、防塵,避免通道堵塞或材料老化。使用前應(yīng)檢查外觀是否完好,必要時進行重新校準(zhǔn),確保性能符合要求。福建全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔外形
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