低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）管式爐在氮化硅（Si?N?）薄膜制備中展現(xiàn)出出色的均勻性和致密性，工藝溫度700℃-900℃，壓力10-100...
由于化合物半導(dǎo)體對生長環(huán)境的要求極為苛刻，管式爐所具備的精確溫度控制、穩(wěn)定的氣體流量控制以及高純度的爐內(nèi)環(huán)境，成為了保障外延層高質(zhì)量生長的關(guān)...
管式爐在碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）制造中面臨高溫（1500℃以上）和強(qiáng)腐蝕氣氛（如HCl）的挑戰(zhàn)。以SiC外延為例，需采用石墨加熱元...
為進(jìn)一步提高臥式爐的能源利用效率，新型隔熱材料的應(yīng)用成為關(guān)鍵。一些高性能的納米氣凝膠隔熱材料開始應(yīng)用于臥式爐。納米氣凝膠具有極低的熱導(dǎo)率，其...
賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司于2021年9月由原青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司重組，引入新的投資而改制設(shè)立的。公司位于無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，注冊資本6521.74萬元，是一家專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備和光伏電池設(shè)備的裝備制造企業(yè)。 公司主要產(chǎn)品有：半導(dǎo)體工藝設(shè)備、硅基集成電路和器件工藝設(shè)備、LED工藝設(shè)備、碳化硅、氮化鎵工藝設(shè)備、納米、磁性材料工藝設(shè)備、航空航天工藝設(shè)備等。并可根據(jù)用戶需求提供定制化的設(shè)備和工藝解決方案。公司秉承“助產(chǎn)業(yè)發(fā)展，創(chuàng)美好未來”的使命，專精于半導(dǎo)體智能裝備的研發(fā)制造，致力于成為半導(dǎo)體裝備的重要品牌?！百|(zhì)量、誠信、創(chuàng)新、服務(wù)、共贏”是我們的重要價(jià)值觀，我們將始終堅(jiān)持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是賽瑞達(dá)永恒的追求”的經(jīng)營理念，持續(xù)經(jīng)營，為廣大客戶創(chuàng)造價(jià)值，和員工共同發(fā)展。
