主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
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隨著納米技術(shù)的快速發(fā)展,它在半導(dǎo)體器件加工中的應(yīng)用也變得越來越普遍。納米技術(shù)可以在原子和分子的尺度上操控物質(zhì),為半導(dǎo)體器件的制造帶來了前所未...
功率器件微納加工,作為微納加工領(lǐng)域的重要分支,正以其高性能、高可靠性及低損耗的特點(diǎn),推動(dòng)著電力電子領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展。通過精確控制加工過程,科研...
石墨烯微納加工是圍繞石墨烯這一神奇二維材料展開的精密加工技術(shù)。石墨烯因其出色的電學(xué)、力學(xué)和熱學(xué)性能,在電子器件、柔性電子、能量存儲(chǔ)和轉(zhuǎn)換等領(lǐng)...
半導(dǎo)體器件的質(zhì)量控制是確保產(chǎn)品性能穩(wěn)定可靠的關(guān)鍵。在加工過程中,需要對(duì)每一步進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和測試,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能符合設(shè)計(jì)要求。在加工...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。