DLC膜的性能“DLC”是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”的縮寫。DLC是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的物質(zhì)。類金剛石薄膜(DLC)是一種非晶態(tài)薄膜,由于具有高硬度和高彈性模量,低摩擦因數(shù),耐磨損以及良好的真空摩擦學(xué)特性,很適合于作為耐磨涂層,從而引起了摩擦學(xué)界的重視。目前制備DLC薄膜的方法很多, 不同的制備方法所用的碳源以及到達基體表面的離子能量不同, 沉積的DLC 膜的結(jié)構(gòu)和性能存在很大差別, 摩擦學(xué)性能也不相同。DLC膜的性能包括:低摩擦系數(shù)、高耐磨性、高導(dǎo)熱率、高電阻率、高硬度、良好的光學(xué)透過性和生物相容性,所以現(xiàn)在被廣泛應(yīng)用在機械、...
在DLC薄膜應(yīng)用的過程中,選擇合適種類的DLC薄膜顯得尤為重要。因此,DLC薄膜的分類以及分類標(biāo)準(zhǔn)的制定,直接影響了其在眾多領(lǐng)域的應(yīng)用。而傳統(tǒng)的DLC薄膜分類方法通常需要根據(jù)DLC薄膜的微結(jié)構(gòu)定量分析來完成。然而,這一方法需要基于大型同步輻射光源的X射線近邊吸收精細結(jié)構(gòu)譜(NEXAFS)分析碳元素的成分和狀態(tài);需要大型靜電加速器的盧瑟福背散射彈性反沖(RBS/ERDA)或者中子源等分析氫元素含量,執(zhí)行起來非常困難。因此,一般實驗條件難以實現(xiàn)對DLC的準(zhǔn)確分類,從而導(dǎo)致DLC在應(yīng)用領(lǐng)域難以實現(xiàn)精細調(diào)控和定量研發(fā)。DLC薄膜為什么在紅外是透過的?寶山金屬DLC哪家便宜DLC應(yīng)用:汽車零部件:DLC...
世界能源的1/2-1/3消耗于摩擦,機械零件80%失效原因是磨損;因此磨損是材料研究的重要命題;耐磨、減摩材料開發(fā)活躍,成為摩擦學(xué)研究的重點。摩擦學(xué)包括摩擦、磨損和潤滑三部分。自從上世紀(jì)70年代DLC薄膜問世以來,經(jīng)過幾十年的發(fā)展和探索,逐漸形成了現(xiàn)在的物理沉積和化學(xué)氣相沉積的DLC(類金剛石涂層)薄膜。早期的涂層以硬度作為主要指標(biāo),往往追求高硬度以獲得較好的抗磨性能。但是這些鍍層的摩擦系數(shù)普遍較高,以TiN為例其摩擦系數(shù)在干摩擦狀態(tài)下一般在0.4以上。高硬度的薄膜往往具有較大的脆性,易剝落、開裂。當(dāng)前涂層面臨的挑戰(zhàn)不僅應(yīng)具有長的使用壽命而且有很好的自潤滑功能。近年來,在保證鍍層具有高硬度的前...
DLC膜在機械功能領(lǐng)域上的應(yīng)用(1)鉆頭、銑刀:DLC膜可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。荷蘭的Hauzer公司制備的摻金屬DLC膜層,用于切削度鋁合金時,能減少表面所謂的切屑瘤(BUE)。結(jié)果是延長工具的壽命并使工件材料在切削后表面光滑。特別是在干切削和深孔加工方面,膜層性能非常好。廣州有色金屬研究院也進行了在銑刀上鍍TiAlN+DLC膜,在加工有色金屬時明顯提高使用壽命及加工質(zhì)量。(2)光盤模具及其輔助模具:光盤模具是生產(chǎn)CD、CDR、DVD的重要工具,為了減少它與母盤(鎳盤)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系數(shù)小,目...
類金剛石(DiamondlikecarbonDLC)薄膜是近年來出現(xiàn)的備受關(guān)注的新型碳材料,具有高硬度、低摩擦、化學(xué)惰性和導(dǎo)熱性佳等優(yōu)異性能,在摩擦學(xué)領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景,也是PVD涂層的一種新的應(yīng)用,特別是對于汽車零部件行業(yè)的減磨、自潤滑具有重要的意義。汽車行業(yè)的長期壓力是減少車輛的尾氣排放,預(yù)計在未來幾年內(nèi),對排放的要求會更加嚴(yán)格。這將導(dǎo)致大力提倡使用新材料和新處理技術(shù),以增加發(fā)動機和傳動系統(tǒng)的效率。歐洲、亞洲和美洲各地政策決策者為未來的汽車時代制定新要求已不可避免。現(xiàn)代真空涂層技術(shù)是滿足上述新要求的關(guān)鍵因素之一,尤其是類金剛石涂層對于減磨、自潤滑意義重大,且制備類金剛石薄膜能真正做到無...
離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中sp3含量變化趨勢則與之相反。在選定的實驗條件下,-100V偏壓時所制備的薄膜在空氣環(huán)境及Hank’s溶液潤滑下都具有比較優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD...
采用磁控濺射的方法,利用氬氣和甲烷為氣源,在中國較早汽車股份有限公司自主研發(fā)的發(fā)動機配氣機構(gòu)的挺柱上制備類金剛石(DLC)薄膜。利用摩擦磨損試驗機和發(fā)動機配氣機構(gòu)試驗臺架,研究了DLC涂層挺柱的摩擦學(xué)行為及其對發(fā)動機節(jié)能的影響.試驗結(jié)果表明,在邊界潤滑條件下,DLC涂層挺柱的摩擦因數(shù)比原零件降低67%,抗磨損性能大幅度提高;在實際使用工況下,配氣機構(gòu)的摩擦損失降低6%,DLC涂層零件可以降低發(fā)動機摩擦損失,適用于汽車低碳技術(shù)路線。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層...
DLC涂層(類金剛石涂層)的優(yōu)點類金剛石碳(Diamond-likeCarbon)DLC泛指不定性碳的晶體結(jié)構(gòu)材質(zhì),此類材質(zhì)里同時存在著如鉆石般(SP3)及石墨般(SP2)碳原子排列方式,雜錯地結(jié)合在一起??茀RDLC涂層可達至高硬度(2000-5000Hv),低摩擦系數(shù),抗酸抗堿的化學(xué)特征,優(yōu)良的耐磨性能,與基體結(jié)合力強,具有優(yōu)異的耐蝕性,能耐各種酸、堿等腐蝕,對金屬、塑料、橡膠、陶瓷等均有良好的抗粘結(jié)和防咬合性能,表面粗糙度低(可達鏡面級),可在各種鋼鐵、鈦合金、硬質(zhì)合金等材料上沉積,其中含金屬DLC更有導(dǎo)電特性??茀R可做到涂層厚度:μm,涂層比較高耐熱400℃。DLC涂層表面非常光滑,有著...
隨著發(fā)動機技術(shù)的發(fā)展,特別是中重型柴油機,爆發(fā)壓力越來越大,以及活塞材料替換為鋼質(zhì)材料,傳統(tǒng)工藝的活塞銷和連桿極易咬合。另外隨著發(fā)動機噪音控制標(biāo)準(zhǔn)以及提升功耗的需求,對活塞銷與活塞的配合間隙越來越小,傳統(tǒng)工藝的活塞銷對新的要求難以實現(xiàn)。DLC涂層活塞銷,表面的DLC涂層是60%的類金剛石+30~40%C,能有效解決咬合問題,同時C有自潤滑性,在潤滑不良的狀態(tài)下仍能有效工作,對以上存在的問題能較好的解決。DLC活塞銷突出特點:1、提高載荷承載能力,抗咬合,特別是重型大功率柴油機;2、提高硬度,減少摩損,延長活塞銷使用壽命,硬度可以達到HV3000;3、減少摩擦功損失,摩擦系數(shù)降低45%;4、降低...
類金剛石(DLC)膜良好耐磨損、耐腐蝕等性能為研發(fā)高壽命人工關(guān)節(jié)提供了新希望。分別綜述了采用常規(guī)摩擦學(xué)方法對DLC膜在鈷鉻合金、不銹鋼、鈦合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工關(guān)節(jié)材料表面和采用模擬試驗機方法對DLC膜在人工髖膝關(guān)節(jié)、人工椎間盤等假體的關(guān)節(jié)面發(fā)揮耐磨性、耐腐蝕性的應(yīng)用和研究進展,對DLC膜失效機理和發(fā)展趨勢進行了總結(jié)和展望。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機...
類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴(yán)格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)...
隨著硬質(zhì)合金刀具市場的不斷擴大,刀具涂層技術(shù)不斷進步,類金剛石薄膜制備方法越來越多,包括物相沉積技術(shù)、化學(xué)氣相沉積技術(shù)以及新興的液相電沉積技術(shù)等。同時,我們也看到了類金剛石薄膜存在著膜基結(jié)合力差、熱穩(wěn)定性差等缺陷。經(jīng)過對類金剛石涂層不斷地研究,發(fā)現(xiàn)可以通過選擇合適的工藝參數(shù)、改善基體狀態(tài)、添加過渡層來增加膜基結(jié)合力。并且近年來的研究表明在含氫類金剛石涂層制備中加入Si等雜質(zhì)元素、采用液相法制作類金剛石涂層熱穩(wěn)定性極高,可以有效地解決熱穩(wěn)定性差的問題??傊操|(zhì)合金刀具表面類金剛石涂層技術(shù)日趨成熟,隨著研究的不斷深入,未來可以制備出更好的類金剛石薄膜。類金剛石膜是一種無機膜,其結(jié)構(gòu)、物理化學(xué)性質(zhì)...
DLC應(yīng)用:汽車零部件:DLC在發(fā)動機部件成功應(yīng)用的是摻雜金屬的DLC(a-C:H:Me),Me-DLC的典型應(yīng)用是渦輪增壓柴油機燃油噴射器部件和軸承。Me-DLC涂層硬度在1200~2000Hv之間變化,與鋼干磨摩擦系數(shù)通常在0.1~0.2之間。Me-DLC涂層的抗沖擊疲勞的能力特別地得到了認可。切削刀具:鉆頭、銑刀DLC膜可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。許多具有延展性的金屬或合金,在切削時容易出現(xiàn)沾粘刀具現(xiàn)象。高溫時更與刀具產(chǎn)生反應(yīng)造成加工困難,工具壽命減短。像這類的刀具如鍍上DLC膜后可解決問題。鍍有DLC膜的刀具...
在工具鍍領(lǐng)域我們實際上主要是利用了DLC的兩大主要性能:摩擦性能:DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數(shù),一般低于,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)比較低可達。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù),但加入H能提高潤滑作用,環(huán)境也對摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來說,DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢,這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在。DLC膜在磨損過程中,接觸面存在的摩擦變形在DLC膜表面產(chǎn)生微小的C,從而在摩擦配副的接觸面上形成一層轉(zhuǎn)移膜,使接觸面成為DLC膜...
簡單說來,石墨態(tài)的C原子就是sp2型雜化,金剛石態(tài)的C原子就是sp3型雜化。類金剛石膜DLC,就是C原子以石墨態(tài)和金剛石態(tài)兩種形態(tài)混合的碳膜。這種復(fù)雜形態(tài)對的碳膜,既有金剛石膜的高硬度,又具有石墨膜的潤滑性。DLC的制備由于類金剛石膜的優(yōu)異性能,自它面世以來,人們就在世界范圍掀起了碳膜的研究熱潮,相繼出現(xiàn)了一系列的碳膜制備技術(shù)??偟膩碚f,制備類金剛石膜現(xiàn)在主要是用各種氣相沉積法,根據(jù)制備原理的不同,大體上可以分為物相沉積和化學(xué)氣相沉積,根據(jù)離化碳原子和加熱方法的不同,DLC的制備方法可分為:真空電弧沉積,噴射沉積,等離子沉積,脈沖激光沉積,電子加入CVD法等等。DLC的制備方法不同,工藝條件不...
DLC膜在機械功能領(lǐng)域上的應(yīng)用(1)鉆頭、銑刀:DLC膜可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。荷蘭的Hauzer公司制備的摻金屬DLC膜層,用于切削度鋁合金時,能減少表面所謂的切屑瘤(BUE)。結(jié)果是延長工具的壽命并使工件材料在切削后表面光滑。特別是在干切削和深孔加工方面,膜層性能非常好。廣州有色金屬研究院也進行了在銑刀上鍍TiAlN+DLC膜,在加工有色金屬時明顯提高使用壽命及加工質(zhì)量。(2)光盤模具及其輔助模具:光盤模具是生產(chǎn)CD、CDR、DVD的重要工具,為了減少它與母盤(鎳盤)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系數(shù)小,目...
DLC具有較高的抗磨損性和化學(xué)惰性,將其應(yīng)用于一些醫(yī)用材料上,可以增加材料的使用壽命。比如聚乙烯的人工骨骼關(guān)節(jié)上沉積一層類金剛石膜增強了人工關(guān)節(jié)的耐磨性,其抗磨損性能就可以和陶瓷和金屬的制品相比了;Ti-Ni形狀記憶合金,是用于骨科內(nèi)固定機械,如果在其表面鍍一層類金剛石膜,使其具有良好的生物學(xué)摩擦特性和良好的抗氧化性;在鈦制品人工心臟瓣膜上鍍上類金剛石膜DLC,它表現(xiàn)出了較好的的表面光滑性和疏水性。而且類金剛石膜DLC具有良好的生物相容性,許多實驗都發(fā)現(xiàn)它對蛋白質(zhì)的吸附率高,對血小板的吸附率低,可以在不影響主體特征前提下,從多種途徑促進材料表面生成具有活性的功能簇,從而減少了血液凝固,使生物組...
DLC薄膜處于熱力學(xué)非平衡狀態(tài),其原子排布呈現(xiàn)出近程有序、遠程無序的特點。近程有序主要表現(xiàn)為C-C原子之間的sp3和sp2雜化鍵的結(jié)構(gòu)。第一種模型是Beeman等人提出的,他們構(gòu)造了三種具有不同sp3和sp2雜化碳原子含量的非晶碳薄膜模型。此模型具備兩個典型特征:其一,除了sp2雜化結(jié)構(gòu)模型外,所有模型對應(yīng)于相對各向同性的無序混亂網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),而且沒有內(nèi)部懸鍵;其二,所有模型都做了弛豫處理,目的是使由偏離結(jié)晶態(tài)的鍵長、鍵角所引起的應(yīng)變能降到比較低。第二種模型是完全無規(guī)網(wǎng)絡(luò)模型,由Phillips等人提出并完善。該模型的基本觀點是,在非晶態(tài)隨機共價網(wǎng)絡(luò)當(dāng)中,當(dāng)原子的平均數(shù)與原子的機械自由度相等時,該...
類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴(yán)格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)...
類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜,可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)(圖2)兩類。無氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成),以及四面體非晶碳(tetrahedralcarbon,簡稱ta-C)(主要由超過80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer-likecarbon,簡稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時還結(jié)合一定數(shù)量的氫.類聚合物非晶態(tài)碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過相同簡單的結(jié)構(gòu)單元通過共價鍵重復(fù)連接而成...
采用直流磁控濺射法在硅基底上交替沉積類金剛石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制備了不同DLC層厚度的CNx/DLC納米多層膜.使用X射線衍射、場發(fā)射掃描電子顯微鏡、X射線光電子譜、Raman光譜等測試手段表征了薄膜的微觀組織形貌、化學(xué)成分和原子價鍵結(jié)構(gòu)等.采用原位納米壓入技術(shù)、涂層附著力劃痕儀、球盤式摩擦磨損試驗機對薄膜的力學(xué)和摩擦學(xué)性能進行了測試.結(jié)果表明:所制備的CNx/DLC多層膜均為微晶或非晶結(jié)構(gòu),組織致密.隨著DLC層厚度的減小,多層膜內(nèi)sp3雜化鍵的含量先升高后下降,壓應(yīng)力由135MPa增至538MPa,結(jié)合力先上升后降低,而磨損率則呈相反變化趨勢.多層膜在大氣和真空中的摩擦因...
類金剛石膜的結(jié)構(gòu),綜述了類金剛石膜的傳統(tǒng)制備方法以及其制備方法的基本原理和優(yōu)缺點,同時介紹了幾種近年發(fā)展起來的新興制備方法,與傳統(tǒng)制備方法相比,它更能提高膜的沉積速率和質(zhì)量.總結(jié)了類金剛石膜在機械、電子、光學(xué)、醫(yī)學(xué)、航空等領(lǐng)域的應(yīng)用狀況.同時指出,隨著DLC技術(shù)上的成熟,其必將在更多領(lǐng)域發(fā)揮越來越大的作用.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領(lǐng)域。純D...
隨著技術(shù)及航空航天技術(shù)的發(fā)展,紅外技術(shù)越來越受到人們的重視,在及航天領(lǐng)域有著舉足輕重的作用。紅外光學(xué)元件的工作環(huán)境往往非常惡劣,如空-空導(dǎo)彈、超音速飛機等裝備光電系統(tǒng)的紅外窗口,需要承受灰塵、高溫、高壓、雨淋、冰雹撞擊、熱沖擊等嚴(yán)峻考驗,因此對紅外窗口材料的性能要求越來越苛刻,既要求材料在工作波段具有優(yōu)良的光學(xué)性能,還要求材料具有優(yōu)良的力學(xué)、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕等性能。常作為紅外窗口的材料有鍺(Ge)、硫化鋅(ZnS)、硒化鋅(ZnSe)、砷化鎵(GaAs)、氟化鎂(MgF2)、藍寶石(sapphire)、尖晶石等,但這些材料在應(yīng)用中都存在著一些問題,例如,Ge在高溫時透過率下降;GaAs制...
陶瓷因其耐蝕、耐熱、耐磨等優(yōu)點,被多用于熱涂在金屬材料的表面,目前陶瓷涂層的方法主要有:熱噴涂、等離子噴涂等,但工藝成本高,且陶瓷和襯材之間只是機械結(jié)合,結(jié)合層的力學(xué)性能差,特別是陶瓷和襯材之間的熱膨脹系數(shù)差異較大,在冷態(tài)時,陶瓷受到襯材的壓縮應(yīng)力,時常發(fā)生裂紋,而運用原位反應(yīng)技術(shù)在襯材的表層產(chǎn)生一層陶瓷層,其結(jié)合界面是冶金結(jié)合,原子相互擴散,結(jié)合強度高,工藝成本低,厚度可達數(shù)毫米,可用于要求耐蝕、耐磨、耐熱的輸送管道,如輸送水泥、煤氣、液化氣以及具有固體顆粒的粉體的管道等。PVD、IP、DLC,你搞懂這些表殼加工名詞了嗎?閔行金剛石DLC技術(shù)類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯...
表面硬質(zhì)涂層硬度的檢測方法,并分別利用顯微硬度計和納米壓入儀對類金剛石(DLC)涂層進行了硬度檢測試驗,運用Jonsson-Hogmark提出的顯微硬度模型進行了涂層本征硬度的推算,并與納米壓入硬度進行了對比分析,結(jié)果表明,在加載力為1N時,兩者具有較好的一致性,推算結(jié)果可信.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于0.1結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領(lǐng)域。手表的DLC電鍍原理是什么?...
雖然液相電沉積技術(shù)在制備類金剛石薄膜及其相關(guān)材料方面具有很多優(yōu)勢,目前對電化學(xué)沉積DLC薄膜的研究報道也越來越多,但這一領(lǐng)域仍有很多方面需要進一步研究:(1)繼續(xù)擴大成膜基底的選擇范圍,并深入研究不同基底材料對DLC薄膜性能的影響;(2)更為全面地研究不同電解液和沉積條件對薄膜性質(zhì)的影響;(3)深入研究成膜機理,并建立具有普遍指導(dǎo)意義的理論模型;(4)開展功能元素的摻雜,使其可以在微電子、生物傳感器等高新領(lǐng)域得到應(yīng)用。電沉積方法的獨特優(yōu)勢,決定了它巨大的發(fā)展?jié)摿?,已在近年來受到了人們的普遍重視,相信隨著研究的不斷深入,技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟,該領(lǐng)域的研究范圍將會越來越廣,研究成果也會越來越豐碩。...
有數(shù)種方法來生產(chǎn)類金剛石碳,但都是基于, sp雜化鍵比sp雜化鍵小很多的事實。因此原子尺度上壓力、沖擊、催化或者是幾種方法的組合的應(yīng)用可以迫使sp雜化碳原子結(jié)合在一起形成sp鍵合。這些作用必須足夠強使得這些原子能夠偏離sp鍵合的特性,而不能像彈簧一樣變形回來。一般的技術(shù),要有一種足夠的壓力,要么能夠使sp雜化碳原子團簇深入到涂層內(nèi),使得沒有足夠的空間讓sp雜化擴張回來,要么這些新的團簇就很快被下一輪新到來的碳所埋。可以把這個過程想象成為下冰雹一樣的一種更局部化、更快、更加納米的熱壓結(jié)合條件來生產(chǎn)天然和合成的金剛石。由于它們單獨的的發(fā)生在生長薄膜或涂層表面的許多地方,它們傾向于形成類似于鵝卵石街...
DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數(shù),一般低于0.2,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)比較低可達0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù),但加入H能提高潤滑作用,環(huán)境也對摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來說,DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢,這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。國此,DLC膜有可能在許多摩擦學(xué)領(lǐng)域替代這些傳統(tǒng)硬膜。廣州有色金屬研究院制備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達0.13-0.15的摩擦系數(shù)。手表的DLC電鍍原理是...
類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護膜。如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數(shù)據(jù)存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學(xué)腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來,類金剛石膜在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,逐漸成為熱點。采用類金剛石...
DLC薄膜的制備方法:利用化學(xué)氣相沉積制備的DLC薄膜膜層致密,和基體結(jié)合力好。某些特殊薄膜還具有特異的光學(xué)、點穴和熱血等各種物理和化學(xué)性能,這類膜層表現(xiàn)出許多優(yōu)點,包括膜厚比較均勻,膜層質(zhì)量穩(wěn)定,繞鍍性好且易于實現(xiàn)批量生產(chǎn),因此得到了廣泛應(yīng)用。從沉積條件看,要實現(xiàn)氣體與基體界面的化學(xué)反應(yīng),在沉積反應(yīng)過程中必須有一定的開啟能。按照開啟方式的不同,可以分為熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)、直接光化學(xué)氣相沉積(DPCVD)和等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)等幾種方式。DLC碳膜的自潤滑機制和磨損機理進行了探索。紹興金屬DLC多少錢陶瓷因其耐蝕、耐熱、耐磨等優(yōu)點,被多用于熱涂在金屬材料的表面,目...