類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑，可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護(hù)膜。如噴墨打印機(jī)墨盒加熱層上、磁存儲(chǔ)器的表面、錄音機(jī)磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護(hù)層、不僅能有效的減少機(jī)械損傷，又不影響數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強(qiáng)、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能，且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜，不僅可以避免操作過程中的機(jī)械損傷，還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機(jī)械或化學(xué)腐蝕方法，且同時(shí)不會(huì)破壞薄膜的表面，所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。近年來，類金剛石膜在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用，逐漸成為熱點(diǎn)。采用類金剛石膜和碳膜交替出現(xiàn)的多層膜結(jié)構(gòu)構(gòu)造成的多量子阱結(jié)構(gòu)，具有共振隧道效應(yīng)的和獨(dú)特的電特性，在微電子領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度，電子發(fā)射均勻性好，并且其具有負(fù)的電子親和勢(shì)，有效功函數(shù)相對(duì)較低的和較寬的禁帶寬度，即使在較低的外電場(chǎng)作用下，也可產(chǎn)生較大的發(fā)生電流，這個(gè)性能在平板顯示器中有著特殊的使用價(jià)值。DLC涂層結(jié)合強(qiáng)度不高，通過納米調(diào)制等手段來提高其結(jié)合力。青浦真空DLC

類鉆石膜 在70年代 發(fā)現(xiàn) ，是一系列 含有 sp3 和sp2 鍵的非晶 碳膜，具有 與鉆石膜 非常 接近 的性質(zhì) ——高硬度 、高彈性模量 、耐磨損 、低摩擦系數(shù) 、高阻力 、高透光率 、高化學(xué) 穩(wěn)定性 等。 因此 ，類鉆石膜 技術(shù) 被廣泛應(yīng)用 于機(jī)械 、電子 、光學(xué) 和醫(yī)學(xué) 等各個(gè)領(lǐng)域 。 混合 的DLC薄膜 是非晶體 半導(dǎo)體材料 ，帶寬 可在1-4e V之間 調(diào)制 ，大面積 生長(zhǎng) ，材料 本身 和加工過程 環(huán)保 ，在光電 檢測(cè) 領(lǐng)域 的運(yùn)用 潛力 非常 大。 但是 ，現(xiàn)在 DLC半導(dǎo)體 的混合 還沒有 得到 n型或p型DLC半導(dǎo)體 的材料 。 上海 英屹涂料 技術(shù) 有限公司 引進(jìn) 美國(guó) PE -CVD 設(shè)備 技術(shù) 制造 的類鉆石 DLC膜層沉積 速度快 ，膜厚可達(dá) 60 um 膜層硬度 高；膜層摩擦系數(shù) 低于 結(jié)合力 好；耐腐蝕性 能好；耐磨 膜層具有 自潤(rùn)滑性 優(yōu)點(diǎn) 。 可以 解決 PVD涂層 不能 鍍層 的工件 內(nèi)孔 的問題 。 我司 涂層 早已 應(yīng)用 于航空 機(jī)械 模具 電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī) 構(gòu)件 等領(lǐng)域 。寶山不銹鋼DLC多少錢手表的DLC電鍍?cè)硎鞘裁矗?/p>

使用類金剛石薄膜(DiamondLikeCarbon,DLC)作為涂層,采用等離子體離子浸沒注入技術(shù)PlasmaImmersionIonImplantationandDeposition,PIIID)對(duì)空間飛輪長(zhǎng)壽命軸承溝道表面進(jìn)行改性.結(jié)果表明,陪試件表面DLC改性后表面粗糙度、軸承內(nèi)外溝道輪廓形狀誤差等特性未發(fā)生明顯改變,改性層表面納米硬度提高2倍左右;陪試件摩擦試驗(yàn)結(jié)果表明,改性后表面的摩擦學(xué)性能得到了明顯改善;DLC涂層的穩(wěn)定摩擦因數(shù)僅為基體的1/3～1/4,有利于延長(zhǎng)空間飛輪軸承的工作壽命.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。

類金剛石薄膜（DLC）擁有高硬度，低摩擦、耐腐蝕等性能，已經(jīng)應(yīng)用于機(jī)械刀具、模具、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。但由于制備技術(shù)的限制，導(dǎo)致DLC存在殘余應(yīng)力較高、膜/基結(jié)合力差、摩擦性能不穩(wěn)定、大面積均勻制備困難等問題。線性陽極離子束技術(shù)具有等離子體離化率高、大面積均勻沉積等特點(diǎn)，是制備高性能DLC薄膜的理想技術(shù)。針對(duì)DLC與基體結(jié)合性能較差的現(xiàn)狀，首先從添加合適過渡層（W）匹配膜/基適應(yīng)性出發(fā)，探討W過渡層厚度對(duì)DLC薄膜物相、機(jī)械力學(xué)、摩擦學(xué)性能的影響。在此基礎(chǔ)上，通過不同工藝W過渡層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，研究其對(duì)膜/基性能的影響。為改善金屬基體沉積DLC薄膜的工業(yè)化應(yīng)用，根據(jù)不同類型過渡層性能的對(duì)比，優(yōu)化過渡層設(shè)計(jì)，制備出膜/基結(jié)合強(qiáng)度高、機(jī)械性能良好的DLC復(fù)合薄膜，上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國(guó)PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤(rùn)滑性的優(yōu)點(diǎn)?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。DLC涂層的高硬度 低摩擦性能突出。

類金剛石碳膜（diamond-likecarbonfilms，簡(jiǎn)稱DLC膜），是含有類似金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳膜，也是我們?cè)谶@里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的來源和制備方法的差異，DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長(zhǎng)程無序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究，正在完善工業(yè)化技術(shù)。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點(diǎn)等。不同的制備方法，DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能不同。類金剛石碳膜（Diamond-likecarbonfilms，簡(jiǎn)稱DLC膜）作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等，可用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，具有良好的應(yīng)用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強(qiáng)沉積系統(tǒng)，并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進(jìn)行DLC膜的開發(fā)。該項(xiàng)技術(shù)用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域，用于摩擦、光學(xué)功能等用途。目前在我國(guó)技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段。類金剛石碳膜(DLC膜)的結(jié)構(gòu)性質(zhì)及其應(yīng)用。無錫納米DLC工藝

類金剛（DLC）石薄膜的分類。青浦真空DLC

DLC應(yīng)用：汽車零部件：DLC在發(fā)動(dòng)機(jī)部件成功應(yīng)用的是摻雜金屬的DLC（a-C:H:Me），Me-DLC的典型應(yīng)用是渦輪增壓柴油機(jī)燃油噴射器部件和軸承。Me-DLC涂層硬度在1200～2000Hv之間變化，與鋼干磨摩擦系數(shù)通常在0.1～0.2之間。Me-DLC涂層的抗沖擊疲勞的能力特別地得到了認(rèn)可。切削刀具：鉆頭、銑刀DLC膜可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上，特別是摻雜金屬的DLC膜，它不僅具有高的硬度，還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。許多具有延展性的金屬或合金，在切削時(shí)容易出現(xiàn)沾粘刀具現(xiàn)象。高溫時(shí)更與刀具產(chǎn)生反應(yīng)造成加工困難，工具壽命減短。像這類的刀具如鍍上DLC膜后可解決問題。鍍有DLC膜的刀具適合用來加工銅合金、鋁鎂合金、陶瓷、碳化鎢、鉛合金、含碳材料(石墨、塑料及復(fù)合材料、橡膠)等。但由于碳原子會(huì)溶到鐵系材料內(nèi)，因此不適合用來加工含鐵、鈷、鎳等材料。青浦真空DLC