對(duì)于需要進(jìn)行車規(guī)級(jí)功率器件流片的客戶，中清航科提供符合 AEC-Q101 標(biāo)準(zhǔn)的流片代理服務(wù)。其與具備車規(guī)級(jí)功率器件生產(chǎn)資質(zhì)的晶圓廠合作，熟悉 IGBT、MOSFET 等功率器件的流片工藝，能為客戶提供芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、柵極氧化層優(yōu)化、終端結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等專業(yè)服務(wù)。在流片過程中，實(shí)施更嚴(yán)格的工藝控制與可靠性測(cè)試，如高溫柵偏測(cè)試、短路測(cè)試、雪崩能量測(cè)試等，確保產(chǎn)品滿足車規(guī)級(jí)要求。已成功代理多個(gè)車規(guī)級(jí) IGBT 的流片項(xiàng)目，產(chǎn)品通過了 AEC-Q101 認(rèn)證，應(yīng)用于新能源汽車的主逆變器與充電樁。中清航科的流片代理服務(wù)注重?cái)?shù)據(jù)安全，采用多層次的安全防護(hù)體系保護(hù)數(shù)據(jù)。網(wǎng)絡(luò)層面采用防火墻、入侵檢測(cè)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)加密傳輸?shù)燃夹g(shù)，防止數(shù)據(jù)傳輸過程中的泄露與篡改；服務(wù)器層面采用虛擬化技術(shù)、訪問控制、數(shù)據(jù)備份與恢復(fù)等措施，確保數(shù)據(jù)存儲(chǔ)安全；應(yīng)用層面采用身份認(rèn)證、權(quán)限管理、操作日志記錄等功能，防止未授權(quán)訪問與操作。通過多層次防護(hù)，確保數(shù)據(jù)的安全性與完整性，已通過 ISO27001 信息安全管理體系認(rèn)證。中清航科小批量流片專線，支持100片起訂。鹽城TSMC 180nm流片代理

先進(jìn)制程流片面臨技術(shù)門檻高、產(chǎn)能緊張等問題，中清航科憑借與先進(jìn)晶圓廠的深度合作，構(gòu)建起獨(dú)特的先進(jìn)制程流片代理能力。針對(duì) 7nm 及以下工藝，組建由前晶圓廠工程師組成的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，能為客戶提供從設(shè)計(jì)規(guī)則解讀、DFM 分析到工藝參數(shù)優(yōu)化的全流程支持。在 EUV 光刻環(huán)節(jié)，中清航科的技術(shù)人員可協(xié)助客戶優(yōu)化光刻膠選擇與曝光參數(shù)，使 EUV 層的良率提升 10% 以上。為應(yīng)對(duì)先進(jìn)制程流片的高成本問題，推出階梯式付款方案，將流片費(fèi)用分為設(shè)計(jì)審核、掩膜制作、晶圓生產(chǎn)、測(cè)試等階段支付，緩解客戶的資金壓力。目前已代理 50 余款先進(jìn)制程芯片流片項(xiàng)目，涉及 AI 芯片、高性能處理器等領(lǐng)域，幫助客戶縮短先進(jìn)制程產(chǎn)品的上市周期。嘉興中芯國(guó)際 40nm流片代理中清航科硅光流片代理，耦合效率提升至92%。

中清航科的流片代理服務(wù)注重可持續(xù)發(fā)展，在服務(wù)過程中推行綠色運(yùn)營(yíng)理念。鼓勵(lì)客戶采用可重復(fù)使用的晶圓包裝盒，減少一次性包裝材料的使用；與晶圓廠合作優(yōu)化生產(chǎn)工藝，減少流片過程中的能源消耗與廢水排放；在內(nèi)部推行無紙化辦公，每年減少紙張使用量 10 噸以上。通過這些措施，幫助客戶降低流片過程的環(huán)境影響，同時(shí)獲得綠色制造認(rèn)證提供支持，已有 30 余家客戶通過該服務(wù)滿足了 ESG 報(bào)告的相關(guān)要求。對(duì)于需要進(jìn)行小批量試產(chǎn)到大規(guī)模量產(chǎn)轉(zhuǎn)換的客戶，中清航科提供平滑過渡服務(wù)。其產(chǎn)能規(guī)劃團(tuán)隊(duì)會(huì)根據(jù)客戶的市場(chǎng)需求預(yù)測(cè)，制定階梯式量產(chǎn)計(jì)劃，從每月 100 片到每月 10 萬(wàn)片的產(chǎn)能提升過程中，確保工藝參數(shù)的穩(wěn)定性與產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。通過與晶圓廠簽訂彈性產(chǎn)能協(xié)議，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能的快速調(diào)整，滿足客戶的市場(chǎng)需求波動(dòng)，某消費(fèi)電子芯片客戶通過該服務(wù)，在 3 個(gè)月內(nèi)完成了從試產(chǎn)到月產(chǎn) 50 萬(wàn)片的產(chǎn)能爬坡。

面對(duì)芯片設(shè)計(jì)企業(yè)的快速迭代需求，中清航科建立了靈活的流片調(diào)整機(jī)制?？蛻粼诹髌瑔?dòng)后如需修改設(shè)計(jì)參數(shù)，可在晶圓廠投片前 48 小時(shí)提出變更申請(qǐng)，技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)快速評(píng)估變更影響并給出可行性方案。對(duì)于緊急變更需求，可啟動(dòng)加急處理流程，確保變更指令及時(shí)傳達(dá)至晶圓廠，去年成功處理 120 余次設(shè)計(jì)變更，平均響應(yīng)時(shí)間只 6 小時(shí)。流片后的封裝測(cè)試銜接是縮短產(chǎn)品上市周期的關(guān)鍵，中清航科整合了長(zhǎng)電科技、通富微電等封測(cè)廠資源，提供 “流片 + 封測(cè)” 一站式服務(wù)。通過建立標(biāo)準(zhǔn)化的交接流程，流片完成的晶圓可直接轉(zhuǎn)運(yùn)至合作封測(cè)廠，省去客戶中間協(xié)調(diào)環(huán)節(jié)，將封測(cè)周期縮短 5-7 天。其開發(fā)的智慧物流系統(tǒng)可實(shí)時(shí)追蹤晶圓運(yùn)輸狀態(tài)，確保產(chǎn)品安全可控。中清航科車規(guī)流片包，含HTOL/UBM等全套認(rèn)證測(cè)試。

中清航科的流片代理服務(wù)覆蓋芯片全生命周期，從原型驗(yàn)證到量產(chǎn)爬坡提供無縫銜接。在原型驗(yàn)證階段提供 MPW 服務(wù)，支持較小 1 片晶圓的試產(chǎn)；小批量量產(chǎn)階段啟動(dòng)快速爬坡方案，通過產(chǎn)能階梯式釋放實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)從 1000 片到 10 萬(wàn)片的平滑過渡；量產(chǎn)階段則依托 VMI（供應(yīng)商管理庫(kù)存）模式，建立晶圓庫(kù)存緩沖，縮短客戶訂單響應(yīng)時(shí)間至 48 小時(shí)以內(nèi)。針對(duì)特殊工藝芯片的流片需求，中清航科積累了豐富的特種晶圓廠資源。在 MEMS 芯片領(lǐng)域，與全球的 MEMS 代工廠建立聯(lián)合開發(fā)機(jī)制，可提供從設(shè)計(jì)仿真到流片量產(chǎn)的全流程服務(wù)，已成功代理壓力傳感器、微鏡陣列等產(chǎn)品的流片項(xiàng)目。在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域，其覆蓋 SiC、GaN 等寬禁帶半導(dǎo)體的流片資源，能滿足新能源汽車、光伏逆變器等應(yīng)用的特殊工藝要求。中清航科失效分析實(shí)驗(yàn)室，72小時(shí)定位流片失效根因。紹興TSMC 12nm流片代理

中清航科量產(chǎn)轉(zhuǎn)流片服務(wù)，首萬(wàn)片晶圓缺陷率＜200DPW。鹽城TSMC 180nm流片代理

流片過程的復(fù)雜性往往讓設(shè)計(jì)企業(yè)望而生畏，中清航科通過標(biāo)準(zhǔn)化流程再造，將流片環(huán)節(jié)拆解為 12 個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，每個(gè)節(jié)點(diǎn)都配備專屬技術(shù)人員負(fù)責(zé)。在項(xiàng)目啟動(dòng)階段，其 DFM 工程師會(huì)對(duì)客戶的 GDSII 文件進(jìn)行多方面審查，重點(diǎn)檢查光刻層對(duì)齊、金屬線寬等可制造性問題，平均能提前發(fā)現(xiàn) 80% 的潛在生產(chǎn)隱患。進(jìn)入晶圓廠生產(chǎn)階段，項(xiàng)目經(jīng)理會(huì)建立每日進(jìn)度通報(bào)機(jī)制，通過可視化平臺(tái)實(shí)時(shí)展示晶圓生產(chǎn)狀態(tài)，包括清洗、光刻、蝕刻等各工序的完成情況。針對(duì)突發(fā)狀況，中清航科建立了三級(jí)應(yīng)急響應(yīng)體系，普通問題 4 小時(shí)內(nèi)給出解決方案，重大問題 24 小時(shí)內(nèi)協(xié)調(diào)晶圓廠技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同處理，去年流片項(xiàng)目的按時(shí)交付率達(dá)到 98.7%，遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。鹽城TSMC 180nm流片代理