上海大載機電有限公司2025-07-10
隔膜密封設計優(yōu)勢:1)實現零泄漏(<1×10??mbar·l/s);2)消除閥桿處的顆粒產生;3)避免潤滑油污染高純氣體;4)維護時無需排空系統。此類閥門需滿足SEMI F72標準,表面粗糙度Ra<0.25μm,且經過三次以上氬氣等離子清洗。
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