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GBC球閥在半導體特氣系統中為什么需要采用隔膜密封結構?

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上海大載機電有限公司2025-07-10

隔膜密封設計優(yōu)勢:1)實現零泄漏(<1×10??mbar·l/s);2)消除閥桿處的顆粒產生;3)避免潤滑油污染高純氣體;4)維護時無需排空系統。此類閥門需滿足SEMI F72標準,表面粗糙度Ra<0.25μm,且經過三次以上氬氣等離子清洗。

上海大載機電有限公司
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簡介:2012 年成立的上海大載機電,丹佛斯代理企業(yè)。品質保真,專業(yè)服務,從銷售到銷服一體,未來持續(xù)創(chuàng)新。
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