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其次,要進(jìn)一步考慮到成本,鋰電池潔凈室環(huán)境目前在鋰電池行業(yè)個(gè)應(yīng)用較廣,但由于制造和生產(chǎn)成本處于高耗能狀態(tài),如果做好有效的成本控制,提高管理效率,這就可以再項(xiàng)目建設(shè)前期以及生產(chǎn)過(guò)程中的實(shí)現(xiàn)已經(jīng)的成本節(jié)約。當(dāng)然有部分廠家不注重整個(gè)生產(chǎn)環(huán)境帶來(lái)的影響,也不積極考慮下溫濕度和潔凈度的控制,由于過(guò)于注重低成本,沒(méi)有追求高質(zhì)量,導(dǎo)致后面的結(jié)果差強(qiáng)人意。所以成本控制方面要考慮高效率的節(jié)約,高精度的生產(chǎn),生產(chǎn)產(chǎn)品高效受益。然后是關(guān)于鋰電無(wú)塵池潔凈室相關(guān)的配套措施,除了上述提到的要有較高效率的除濕設(shè)備、除塵設(shè)備這些基礎(chǔ)設(shè)施,還要對(duì)外在的影響因素進(jìn)行預(yù)防,保證常規(guī)情況下無(wú)塵車間可以正常運(yùn)行。常見的車間必備一些擦拭設(shè)備用的清潔布、防靜電擦拭布等等,隨用隨手清潔,也是通過(guò)人工干預(yù),實(shí)現(xiàn)溫濕度調(diào)整的一種方式。并就車間常用的除濕機(jī)需要做好日常的維修和保養(yǎng),保證車間大環(huán)境的整體穩(wěn)定性等。工業(yè)潔凈室的關(guān)鍵部位只要有一點(diǎn)灰塵就可能對(duì)產(chǎn)品造成較大的危害。百萬(wàn)級(jí)潔凈室 標(biāo)準(zhǔn)
1.適用領(lǐng)域的區(qū)別工業(yè)潔凈室適用于精細(xì)機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)、航空航天工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、核能工業(yè)、液晶顯示器(LCD)、電腦硬盤、磁頭等多個(gè)行業(yè)。生物潔凈室適用于制藥工業(yè)、醫(yī)院(如手術(shù)室、無(wú)菌病房)、食品、化妝品、飲料生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。2.研究對(duì)象的區(qū)別工業(yè)潔凈室主要研究灰塵、微粒(只有一次污染)。生物潔凈室主要研究微生物、細(xì)菌等活的微粒(可能引發(fā)二次污染)。3.控制目標(biāo)的區(qū)別工業(yè)潔凈室的主要目標(biāo)是控制有害微粒的濃度。生物潔凈室的主要目標(biāo)是控制微生物的產(chǎn)生、繁殖和傳播,同時(shí)控制其代謝物。4.對(duì)生產(chǎn)工藝的危害區(qū)別工業(yè)潔凈室的關(guān)鍵部位只要有一點(diǎn)灰塵就可能對(duì)產(chǎn)品造成較大的危害。生物潔凈室中有害微生物必須達(dá)到一定濃度才能造成危害。北京潔凈室廠家潔凈室為高精度制造提供了穩(wěn)定、可靠的生產(chǎn)環(huán)境。
十萬(wàn)級(jí)潔凈室很主要作用在于掌控產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造、測(cè)試,提升產(chǎn)品質(zhì)量,是污染敏感產(chǎn)品重要的生產(chǎn)保證設(shè)施。十萬(wàn)級(jí)潔凈室主要性能參數(shù):溫度范圍:18℃~28℃,可調(diào)節(jié)。塵粒允許數(shù)(≥5μm):20000個(gè)。濕度范圍:40%~85%,可調(diào)節(jié)。浮游菌數(shù):≥500個(gè)/立方米。換氣次數(shù):≥15次/小時(shí)。沉降菌數(shù):≥10個(gè)/立方米。新風(fēng)量:≥30立方/小時(shí)/人。檢驗(yàn)方法:GB50591-2010靜壓差:≥5Pa(不同潔凈等級(jí)區(qū)域之間)。完美的外觀、合理的設(shè)計(jì)。靜壓差:≥10Pa(潔凈區(qū)域與非潔凈區(qū)域之間)。使用的安全及高可靠性。塵粒允許數(shù)(≥0.5μm):3500000個(gè)。超靜音??蓴U(kuò)展性
潔凈室的人員凈化流程與著裝規(guī)范人員是潔凈室的主要污染源,其凈化流程與著裝規(guī)范是控制微粒的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。進(jìn)入潔凈室前,人員需在更衣室依次完成以下步驟:(1)更換普通工作服,存放于個(gè)人衣柜;(2)進(jìn)入一更室,穿戴無(wú)塵鞋套與一次性發(fā)網(wǎng),確保頭發(fā)不外露;(3)進(jìn)入二更室,穿戴連體無(wú)塵服(覆蓋全身,包括頸部與手腕),無(wú)塵服需經(jīng)靜電消除處理,避免吸附微粒;(4)進(jìn)入風(fēng)淋室,通過(guò)360°旋轉(zhuǎn)噴嘴吹除衣物表面微粒(吹淋時(shí)間≥30秒);(5)進(jìn)入潔凈室,全程禁止觸摸面部、頭發(fā)或衣物表面。對(duì)于ISO1-3級(jí)潔凈室,人員還需佩戴手套與口罩,手套需經(jīng)滅菌處理,口罩需覆蓋口鼻并貼合面部;部分高風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域(如生物安全實(shí)驗(yàn)室)還需穿戴正壓防護(hù)服,通過(guò)供氣系統(tǒng)維持內(nèi)部正壓,防止外部污染物侵入。數(shù)據(jù)顯示,未嚴(yán)格遵循凈化流程的人員進(jìn)入潔凈室后,室內(nèi)微粒濃度可瞬間上升50%-100%,而規(guī)范操作可使?jié)舛炔▌?dòng)控制在±10%以內(nèi)。例如,某半導(dǎo)體廠通過(guò)BA系統(tǒng)將潔凈室能耗從800kWh/m2·年降至500kWh/m2·年,年節(jié)省電費(fèi)超200萬(wàn)元。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室,尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言,其負(fù)荷特點(diǎn)是:由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大;送風(fēng)量大,輸送動(dòng)力消耗大,風(fēng)機(jī)管道溫升高;生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此,凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量(減少排風(fēng)量);控制送風(fēng)量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風(fēng)量;選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。因此,在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運(yùn)行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級(jí)別潔凈區(qū)的范圍,嚴(yán)格控制100級(jí)和更高級(jí)別單向流潔凈區(qū)的面積。所有連接處采用焊接或法蘭密封,避免縫隙藏污。上海十萬(wàn)級(jí)潔凈室
潔凈室內(nèi)部采用防靜電設(shè)計(jì),保護(hù)敏感設(shè)備免受損害。百萬(wàn)級(jí)潔凈室 標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度的要求堪稱嚴(yán)苛,潔凈室是保障芯片良率的設(shè)施。在晶圓加工過(guò)程中,光刻、蝕刻、薄膜沉積等工序需在ISO1-3級(jí)潔凈室中進(jìn)行,因?yàn)榭諝庵形⒘?huì)直接污染晶圓表面,導(dǎo)致電路短路或開路。例如,某12英寸晶圓廠的光刻車間采用ISO1級(jí)潔凈室,通過(guò)垂直單向流(層流)設(shè)計(jì),使空氣以0.45m/s的速度垂直向動(dòng),將微粒攜帶至地面回風(fēng)口;同時(shí),車間內(nèi)所有設(shè)備(如光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī))均采用密閉設(shè)計(jì),避免內(nèi)部機(jī)械運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生微粒外泄。數(shù)據(jù)顯示,在普通環(huán)境中生產(chǎn)的芯片良率30%,而在ISO1級(jí)潔凈室中可提升至85%以上。此外,潔凈室還需控制化學(xué)污染物(如氨氣、有機(jī)蒸氣),通過(guò)活性炭過(guò)濾器與化學(xué)過(guò)濾系統(tǒng),將關(guān)鍵工序區(qū)域的化學(xué)污染物濃度控制在ppb(十億分之一)級(jí)別,防止對(duì)晶圓表面造成化學(xué)腐蝕。百萬(wàn)級(jí)潔凈室 標(biāo)準(zhǔn)