DLC薄膜的制備方法:利用化學(xué)氣相沉積制備的DLC薄膜膜層致密,和基體結(jié)合力好。某些特殊薄膜還具有特異的光學(xué)、點(diǎn)穴和熱血等各種物理和化學(xué)性能,這類膜層表現(xiàn)出許多優(yōu)點(diǎn),包括膜厚比較均勻,膜層質(zhì)量穩(wěn)定,繞鍍性好且易于實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),因此得到了廣泛應(yīng)用。從沉積條件看,要實(shí)現(xiàn)氣體與基體界面的化學(xué)反應(yīng),在沉積反應(yīng)過程中必須有一定的開啟能。按照開啟方式的不同,可以分為熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)、直接光化學(xué)氣相沉積(DPCVD)和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)等幾種方式。DLC薄膜的功能特性是什么。湖州塑膠模DLC哪個(gè)好
類金剛石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)是一種亞穩(wěn)態(tài)的非晶碳薄膜,具有一系列類似于金剛石的多種優(yōu)異性能,如高硬度、低摩擦系數(shù)、高耐磨耐蝕性、高熱導(dǎo)率、在可見到紫外光范圍內(nèi)透明、良好的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性、優(yōu)異的生物兼容性及表面光滑等,可多用于機(jī)械、電子、光學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。本項(xiàng)目制備的類金剛石薄膜具有質(zhì)量穩(wěn)定,與基體結(jié)合強(qiáng),硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)和透光性可調(diào)控,耐摩擦磨損和熱穩(wěn)定性好等綜合優(yōu)良性能。制備工藝方法具有成膜速率高,可實(shí)現(xiàn)低溫、大面積沉積。所制備的類金剛石薄膜,與金剛石相比具有更高的性能價(jià)格比。嘉興DLC公司DLC碳膜的自潤滑機(jī)制和磨損機(jī)理進(jìn)行了探索。
類金剛石在電學(xué)性能及應(yīng)用。DLC薄膜具有優(yōu)異的電學(xué)性能,一般來說,含氫DLC薄膜電阻率比不含氫的DLC薄膜的高,可能是由于氫穩(wěn)定了薄膜中sp3相的緣故。由于DLC中的sp2相和薄膜的電阻率有直接的關(guān)系,因此沉積工藝和離子束的能量都對(duì)DLC薄膜層電阻率有著很大的影響。由于DLC薄膜的良好導(dǎo)熱性能,它可以作為芯片中銅片散熱器的絕緣電阻,能防止通常功率下因熱膨脹系數(shù)不匹配而引起的銅片抓痕。此外,DLC在腐蝕介質(zhì)中表現(xiàn)出極高的化學(xué)惰性,可以保護(hù)基底免遭外界腐蝕介質(zhì)的溶蝕。純的DLC薄膜表現(xiàn)出極好的耐蝕性,可以抵御各類酸堿甚至王水的侵蝕。另外,DLC薄膜具有較低的電子親和勢,是一種優(yōu)異的冷陰極場發(fā)射材料,其中一個(gè)重要的應(yīng)用領(lǐng)域就是場發(fā)射平面顯示器件。
類金剛石薄膜(DLC)擁有高硬度,低摩擦、耐腐蝕等性能,已經(jīng)應(yīng)用于機(jī)械刀具、模具、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。但由于制備技術(shù)的限制,導(dǎo)致DLC存在殘余應(yīng)力較高、膜/基結(jié)合力差、摩擦性能不穩(wěn)定、大面積均勻制備困難等問題。線性陽極離子束技術(shù)具有等離子體離化率高、大面積均勻沉積等特點(diǎn),是制備高性能DLC薄膜的理想技術(shù)。針對(duì)DLC與基體結(jié)合性能較差的現(xiàn)狀,首先從添加合適過渡層(W)匹配膜/基適應(yīng)性出發(fā),探討W過渡層厚度對(duì)DLC薄膜物相、機(jī)械力學(xué)、摩擦學(xué)性能的影響。在此基礎(chǔ)上,通過不同工藝W過渡層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),研究其對(duì)膜/基性能的影響。為改善金屬基體沉積DLC薄膜的工業(yè)化應(yīng)用,根據(jù)不同類型過渡層性能的對(duì)比,優(yōu)化過渡層設(shè)計(jì),制備出膜/基結(jié)合強(qiáng)度高、機(jī)械性能良好的DLC復(fù)合薄膜,上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動(dòng)機(jī)部件等領(lǐng)域。DLC薄膜為什么在紅外是透過的?
涂層刀具結(jié)合了基體度高韌性以及涂層高硬度高耐磨性的特點(diǎn),可以提高刀具壽命和加工效率.類金剛石薄膜(DLC)是由無序sp3鍵、sp2鍵、sp1鍵配位碳原子混合而成,具有一系列與金剛石膜相類似的性能(如熱導(dǎo)率高,熱膨脹系數(shù)小,化學(xué)穩(wěn)定性好,硬度和彈性模量高,耐磨性好及摩擦系數(shù)低等)以及優(yōu)異的耐摩擦性能和自潤滑特性,因此成為高速鋼和硬質(zhì)合金刀具理想的表面改性膜.DLC薄膜起源于20世紀(jì)70年代,其沉積方法主要有物理相沉積法(包括磁控濺射沉積、離子束沉積、脈沖激光沉積)和化學(xué)氣相沉積法,近幾年還發(fā)展了液相電化學(xué)沉積法.其表征方法主要有拉曼光譜、X射線光電子能譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)等.DLC薄膜的研究開發(fā)應(yīng)用過程中存在兩個(gè)主要問題:一是膜基結(jié)合力差;二是熱穩(wěn)定性差,這極大降低了工具的使用壽命.改變工藝參數(shù)、摻雜、制備中間過渡層、酸蝕法、機(jī)械處理等可以提高DLC膜的膜基結(jié)合力;在保證高膜基結(jié)合力的同時(shí)具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性.隨著薄膜制備技術(shù)的成熟,制備熱穩(wěn)定性好,sp3含量高同時(shí)內(nèi)應(yīng)力低。DLC薄膜作為微型鉆頭涂層的應(yīng)用具有很好的指導(dǎo)意義。嘉興餐具DLC
退火處理對(duì)WC-DLC薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響。湖州塑膠模DLC哪個(gè)好
DLC具有較高的抗磨損性和化學(xué)惰性,將其應(yīng)用于一些醫(yī)用材料上,可以增加材料的使用壽命。比如聚乙烯的人工骨骼關(guān)節(jié)上沉積一層類金剛石膜增強(qiáng)了人工關(guān)節(jié)的耐磨性,其抗磨損性能就可以和陶瓷和金屬的制品相比了;Ti-Ni形狀記憶合金,是用于骨科內(nèi)固定機(jī)械,如果在其表面鍍一層類金剛石膜,使其具有良好的生物學(xué)摩擦特性和良好的抗氧化性;在鈦制品人工心臟瓣膜上鍍上類金剛石膜DLC,它表現(xiàn)出了較好的的表面光滑性和疏水性。而且類金剛石膜DLC具有良好的生物相容性,許多實(shí)驗(yàn)都發(fā)現(xiàn)它對(duì)蛋白質(zhì)的吸附率高,對(duì)血小板的吸附率低,可以在不影響主體特征前提下,從多種途徑促進(jìn)材料表面生成具有活性的功能簇,從而減少了血液凝固,使生物組織和植入的人工材料和平相處,減輕了患者的痛苦。DLC作為固體潤滑材料,減摩性和耐磨性都很好,這樣就降低了生物醫(yī)學(xué)材料的磨損,延長材料使用壽命。同時(shí),DLC作為一種碳膜,是一種碳素生物醫(yī)學(xué)材料,在生理環(huán)境中呈化學(xué)惰性,不會(huì)引起生物化學(xué)反應(yīng)。研究表明,金屬生物醫(yī)學(xué)材料磨損所產(chǎn)生的碎屑可以引起嚴(yán)重的組織反應(yīng),從而導(dǎo)致植入物周圍的骨損傷,引起裝置松動(dòng)。DLC具有良好的耐磨性和生物化學(xué)惰性,研究表明鍍有DLC髖關(guān)節(jié)假體。湖州塑膠模DLC哪個(gè)好