在眾多類型的碳材料中，類金剛石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)因其優(yōu)異的性能吸引了世界范圍內(nèi)的關注和研究。DLC薄膜的結(jié)構處于金剛石和石墨結(jié)構之間的，主要是由金剛石結(jié)構的sp3雜化碳原子和石墨結(jié)構的sp2雜化碳原子混雜在一起形成的復雜三維網(wǎng)絡結(jié)構構成[27]。根據(jù)晶體材料的特征分析，DLC薄膜通常呈現(xiàn)非晶態(tài)或非晶納米晶復合結(jié)構。根據(jù)氫的有無可以分為含氫DLC薄膜(a-C:H)和不含氫DLC薄膜(a-C)。根據(jù)不同的含氫量和sp3與sp2雜化鍵的比例又分為不同的細類,如圖1-1所示。在2005年德國工程師學會定制的“碳涂層”標準中，又可將DLC薄膜細分為不同的七大類[27]。由于DLC薄膜的結(jié)構介于金剛石和石墨之間，使其具有高的硬度，優(yōu)異的減摩抗磨性能，同時還具有高的熱導率、低的介電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學透過性以及優(yōu)異的化學惰性和較好的生物相容性等。因而DLC薄膜不僅呈現(xiàn)良好的摩擦學性能，還具有良好的耐腐蝕性能。大多數(shù)提升式配氣機構的發(fā)動機采用類金剛石碳(DLC)涂層挺桿。鏜刀DLC哪家便宜
類金剛石碳膜(diamond-likecarbonfilms，簡稱DLC膜)，是含有類似金剛石結(jié)構的非晶碳膜，也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的來源和制備方法的差異，DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究，正在完善工業(yè)化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。不同的制備方法，DLC膜的成分、結(jié)構和性能不同。類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms，簡稱DLC膜)作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等，可用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫(yī)學等領域，具有良好的應用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強沉積系統(tǒng)，并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發(fā)。該項技術用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用于摩擦、光學功能等用途。目前在我國技術正處于發(fā)展和完善階段，有巨大市場潛力。松江工具DLC價格類金剛石碳膜(DLC膜)的結(jié)構性質(zhì)及其應用。
DLC設備介紹：
一、多弧離子鍍硬膜膜設備
1.沉積速率快，蒸發(fā)鍍膜的膜層光潔度高
2、離化率高，膜層附著力好
3、有效鍍膜區(qū)域￠650X1100，可以容納750X1250X600的超大模具和齒輪廠家的超長拉刀，具有非常大的容積
應用于刀具、模具、大型鏡面模、塑膠模、滾齒刀等產(chǎn)品的鍍制
備注：真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
二、類金剛石鍍膜設備：
類金剛石鍍膜設備應用于應用于模具、汽車、醫(yī)療、紡織、縫紉設備以及無油潤滑和耐磨損零件的表面涂層等。
備注：真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做。
用激光Roman光譜儀研究了DLC的結(jié)構組成,利用摩擦磨損試驗機測試了不同摩擦副在干摩擦和油潤滑環(huán)境下的摩擦系數(shù)及耐磨壽命,終用光學顯微鏡觀察了汽車活塞銷涂層類金剛石前后的表面形貌。結(jié)果表明：采用此方法在汽車活塞銷上制備的類金剛石涂層光潔度高,摩擦系數(shù)??；摩擦副之間的硬度差對其耐磨壽命具有很大的影響,加入潤滑劑可以抵消這種影響；汽車活塞銷涂層類金剛石在工作一定時間后,表面粗糙度降低，耐磨壽命提高,同時DLC對摩擦副具有拋光潤滑作用,是一種汽車零部件推薦的抗磨減磨涂層材料。活塞銷涂層類金剛石實際裝車現(xiàn)場測試表明,壽命比沒有涂層的活塞銷提高。上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領域。DLC碳膜的自潤滑機制和磨損機理進行了探索。
類金剛石(DLC)薄膜與不銹鋼的結(jié)合強度是DLC薄膜應用于血管支架表面改性的關鍵技術問題.利用磁過濾陰極真空弧源沉積方法在316L不銹鋼表面沉積DLC薄膜,研究沉積時基體偏壓、薄膜厚度以及鈦過渡層對DLC薄膜與基體結(jié)合強度的影響.研究結(jié)果表明,316L表面制備相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脈沖偏壓制備的薄膜結(jié)合強度明顯優(yōu)于-80V直流偏壓下制備的DLC薄膜;隨著DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜與316L基體的結(jié)合力下降;316L不銹鋼表面制備一層100nm的鈦過渡層之后可以改善DLC薄膜的結(jié)合狀況,并且經(jīng)過20%的拉伸變形后,DLC薄膜完整,耐蝕性優(yōu)于未表面處理的316L不銹鋼.以上研究結(jié)果表明,磁過濾陰極真空弧源方法制備DLC薄膜與316L結(jié)合強度高,可以有效的提高316L的耐腐蝕性,是一種具有應用前景的血管支架表面改性方法.上海英屹涂層技術有限公司引進美國PE-CVD設備技術制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點?？梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領域。為什么DLC薄膜內(nèi)應力大？浦東餐具DLC
類金剛石薄膜(DLC)的制備方法及應用。鏜刀DLC哪家便宜
由于DLC屬亞穩(wěn)態(tài)的材料，熱穩(wěn)定性差是限制DLC膜應用的一個重要因素，在300°C以上退火時即出現(xiàn)了sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變，為此，人們進行了大量的工作試圖提高其熱穩(wěn)定性。有研究發(fā)現(xiàn)：Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩(wěn)定性，含20 at%Si的DLC膜在740°C退火時才出現(xiàn)sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變。同樣，金屬（如Ti、W、Cr）的摻入也可提高DLC膜的熱穩(wěn)定性，我們正在對這方面進行研究。純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降，這是由于摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續(xù)性所致。
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