4. 電容式真空計(jì)電容式真空計(jì)通過測量電容變化來間接測量壓力，適用于中真空和高真空范圍。（1）電容薄膜真空計(jì)原理：利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高、響應(yīng)快。缺點(diǎn)：成本較高。應(yīng)用：中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計(jì)振膜式真空計(jì)通過測量振膜頻率變化來測量壓力，適用于中真空和高真空范圍。（1）石英晶體真空計(jì)原理：利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高、穩(wěn)定性好。缺點(diǎn)：成本較高。應(yīng)用：高精度真空測量。選擇真空計(jì)時(shí)需要綜合考慮多個(gè)因素。天津mems電容真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商

真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控：電容規(guī)測腔體壓力（1~10?2Pa），電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)（10?2~10??Pa）。ALD設(shè)備要求真空計(jì)耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī)）。數(shù)據(jù)采樣率需>10Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14.真空計(jì)的壽命與維護(hù)熱陰極規(guī)壽命約1~2萬小時(shí)（燈絲斷裂）；冷陰極規(guī)可達(dá)10萬小時(shí)。維護(hù)包括：①定期烘烤除氣（200℃/24h）；②避免油蒸氣污染；③檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。蘇州金屬真空計(jì)設(shè)備公司陶瓷真空計(jì)溫包款和無溫包款有什么區(qū)別？

8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測量技術(shù)，適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理：通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測量范圍：10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn)：測量范圍廣，適用性強(qiáng)。缺點(diǎn)：成本較高。應(yīng)用：多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)（1）放射性電離真空計(jì)原理：利用放射性物質(zhì)電離氣體分子測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：無需電源，穩(wěn)定性好。缺點(diǎn)：放射性物質(zhì)存在安全隱患。應(yīng)用：特殊環(huán)境真空測量。（2）聲波真空計(jì)原理：通過聲波傳播速度變化測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn)：非接觸式測量。缺點(diǎn)：精度較低。應(yīng)用：特定工業(yè)應(yīng)用。

電容薄膜真空計(jì)：屬彈性元件真空計(jì)，其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室，即參考壓強(qiáng)室和測量室。測量低壓強(qiáng)（P<100帕）時(shí)，參考室抽至高真空，其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測量室壓強(qiáng)不同時(shí)，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應(yīng)改變，通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。電容薄膜真空計(jì)可直接測量氣體或蒸氣的壓強(qiáng)，測量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤，如對不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭，可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測、低真空精密測量和壓強(qiáng)控制，也可用作低真空測量的副標(biāo)準(zhǔn)。皮拉尼真空計(jì)在測量過程中需要注意哪些安全問題？

7. 真空隔熱原理杜瓦瓶（如保溫杯）利用真空層阻斷熱傳導(dǎo)和對流，*剩輻射傳熱。多層鋁箔反射屏可降低輻射熱導(dǎo)，使LNG儲(chǔ)罐日蒸發(fā)率<0.1%。國際空間站真空隔熱材料耐受-150~120℃溫差，真空度維持10?3 Pa以上。

8. 陰極射線管與真空CRT電視依賴10?? Pa真空環(huán)境，電子槍發(fā)射的電子束在電場中加速至數(shù)萬伏，撞擊熒光粉發(fā)光。真空避免電子與氣體分子碰撞，確保圖像清晰。早期X射線管也基于類似原理，真空度不足會(huì)導(dǎo)致管壁電離發(fā)光。

9. 真空斷路器高壓開關(guān)使用真空（10?? Pa）作為滅弧介質(zhì)，電流過零時(shí)金屬蒸氣快速復(fù)合，絕緣恢復(fù)速度比SF?斷路器快10倍。觸頭材料多用銅鉻合金，分?jǐn)嗄芰_(dá)100 kA。真空斷路器體積小且無污染，占中壓市場80%份額。 真空計(jì)按計(jì)量原理如何分類？廣東金屬電容薄膜真空計(jì)

部分真空計(jì)對被測氣體有要求。天津mems電容真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商

（1）真空計(jì)直接讀取氣體壓力，其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測力確定。***真空計(jì)對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān)，屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。（2）相對真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力，不能通過簡單的計(jì)算，必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能。相對真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計(jì)的種類很多，如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。天津mems電容真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商