激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到比較佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快。廣東英國激光干涉儀
雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當(dāng)可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束,Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。廣東精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀維護對激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動。
數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當(dāng)前為有效且普遍應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。數(shù)控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償(值)與記憶式螺距誤差補償(增量值)兩種,三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補償?shù)谋硎局弧.?dāng)采用激光干涉儀進行增量值補償時,會遇到數(shù)據(jù)怎么對應(yīng)補償點位置的問題。機床系統(tǒng)種類繁多,正逐步向自動補償邁進。
激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,其光波可直接對米進行定義??筛鶕?jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;支持手動或自動進行環(huán)境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應(yīng)用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒?;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業(yè)專屬模板定制。激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度的測量。
激光干涉儀組件:要測量線性軸的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù),需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件,主要有:XL激光頭、三腳架和云臺、XC環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應(yīng)(DopplerEffect):任何形式的波傳播,都是由于波源、傳播介質(zhì)或中間反射器的運動,會使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移(DopplerShift),其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運動有關(guān)。激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應(yīng)用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。滄州激光干涉儀設(shè)備廠家
激光干涉儀具有有線性測量鏡組、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。廣東英國激光干涉儀
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標(biāo)測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件的配合下,激光干涉儀可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析。廣東英國激光干涉儀