刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料，從而雕琢出精細的電路結(jié)構(gòu)。在這一精細操作過程中，溫度的波動都會如同“蝴蝶效應(yīng)”般，干擾刻蝕速率的均勻性。當溫度不穩(wěn)定時，硅片不同部位在相同時間內(nèi)所經(jīng)歷的刻蝕程度將參差不齊，有的地方刻蝕過度，有的地方刻蝕不足，直接破壞芯片的電路完整性，嚴重影響芯片性能。濕度方面，一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況，刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復(fù)雜的化學反應(yīng)，生成一些難以預(yù)料的雜質(zhì)。這些雜質(zhì)可能會附著在芯片表面，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結(jié)構(gòu)中，給芯片質(zhì)量埋下深深的隱患，后續(xù)即便經(jīng)過多道清洗工序，也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響。高精密環(huán)境控制設(shè)備由主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)等組成。0.1℃環(huán)境試驗箱

芯片蝕刻時，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。安徽0.05℃環(huán)境精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部溫度規(guī)格設(shè)定為 22.0 °C 且可靈活調(diào)節(jié)，以滿足不同控溫需求。

設(shè)備運行靜音高效是精密環(huán)控柜的又一優(yōu)勢。采用的 EC 風機，具備更高效、更強大、更安靜的運行特點。相比傳統(tǒng)風機，EC 風機能夠在提供充足風量的同時，有效降低能耗，提高能源利用效率。制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì)，進一步降低設(shè)備噪音，使其運行噪音小于 45dB 。噪音作為一種能量對于生產(chǎn)過程存在難以忽視的影響，極低的噪音恰恰能防止設(shè)備收到干擾，影響生產(chǎn)環(huán)境。高效的運行則保證了設(shè)備能夠快速、穩(wěn)定地調(diào)節(jié)溫濕度和潔凈度，滿足各類精密實驗和生產(chǎn)的需求。

在 3D 打印行業(yè)蓬勃發(fā)展的當下，溫濕度成為左右打印質(zhì)量的關(guān)鍵因素。在打印過程中，一旦環(huán)境溫度出現(xiàn)較大幅度的波動，用于成型的光敏樹脂或熱熔性材料便會受到直接沖擊。材料的固化速率、流動性不再穩(wěn)定，這會直接反映在打印模型上，導致模型出現(xiàn)層紋，嚴重時發(fā)生變形，甚至產(chǎn)生開裂等嚴重缺陷。而當濕度偏高，材料極易吸濕。在打印過程中，這些吸收的水分轉(zhuǎn)化為氣泡，悄然隱匿于模型內(nèi)部或浮現(xiàn)于表面，極大地破壞模型的結(jié)構(gòu)完整性，使其表面質(zhì)量大打折扣，影響 3D 打印產(chǎn)品在工業(yè)設(shè)計、醫(yī)療模型等諸多領(lǐng)域的實際應(yīng)用。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部壓力波動極小，穩(wěn)定在 +/-3Pa。

航空航天零部件加工對于溫濕度精度的要求非常高，任何細微偏差都可能引發(fā)嚴重后果。以航空發(fā)動機葉片為例，其復(fù)雜精妙的曲面造型，搭配極為嚴苛的性能標準，需要借助高精度數(shù)控機床，通過銑削、打磨等一系列精細加工工序來完成。然而，一旦溫度出現(xiàn)波動，機床的主軸、導軌等關(guān)鍵部件就會產(chǎn)生熱變形，進而導致刀具切削路徑偏離原本預(yù)設(shè)的軌跡，致使葉片曲面精度無法達到標準要求，這將直接對發(fā)動機的動力輸出以及可靠性造成影響。不僅如此，濕度發(fā)生變化時，金屬切削刀具極易生銹，這不僅縮短刀具的使用壽命，還會增加加工表面的粗糙度，難以契合航空零部件對表面質(zhì)量近乎苛刻的要求。高精密溫濕度控制設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h。矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀環(huán)境實驗箱

為航天零部件檢測打造的專屬環(huán)境，滿足其對溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求。0.1℃環(huán)境試驗箱

超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，使得控制輸出精度達到驚人的 0.1% ，這意味著對溫度的調(diào)控能夠精細到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK (靜態(tài)) ，無論外界環(huán)境如何變化，都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ，滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個角落的溫度幾乎一致，避免因溫度差異導致的實驗誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問題。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達 +/-3Pa ，連續(xù)穩(wěn)定工作時間大于 144h ，為對溫濕度、壓力要求苛刻的實驗和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障，讓長時間的科研實驗和精密制造得以順利進行。0.1℃環(huán)境試驗箱