光束誘導電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術常被集成于同一檢測系統(tǒng),合稱為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應用上形成巧妙互補,能夠協同應對集成電路中絕大多數失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術的獨特優(yōu)勢在于,即便失效點被金屬層覆蓋形成“熱點”,其仍能通過光束照射引發(fā)的電阻變化特性實現精細檢測——這恰好彌補了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號捕捉受限的不足。在復合材料檢測中,電激勵能使缺陷區(qū)域產生獨特熱響應,鎖相熱成像系統(tǒng)可將這種響應轉化為清晰的缺陷圖像。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)聯系人
致晟光電的一體化檢測設備,不僅是技術的集成,更是對半導體失效分析邏輯的重構。它讓 “微觀觀測” 與 “微弱信號檢測” 不再是選擇題,而是能同時實現的標準配置。在國產替代加速推進的背景下,這類自主研發(fā)的失效分析檢測設備,正逐步打破國外品牌在半導體檢測領域的技術壟斷,為我國半導體產業(yè)的高質量發(fā)展提供堅實的設備支撐。未來隨著第三代半導體、Micro LED 等新興領域的崛起,對失效分析的要求將進一步提升,而致晟光電的技術探索,無疑為行業(yè)提供了可借鑒的創(chuàng)新路徑。顯微紅外成像鎖相紅外熱成像系統(tǒng)設備制造檢測速度快,但鎖相熱紅外電激勵成像所得的位相圖不受物體表面情況影響,對深層缺陷檢測效果更好。
鎖相熱成像系統(tǒng)在鋰電池檢測領域發(fā)揮著重要作用。隨著新能源汽車的快速發(fā)展,鋰電池的安全性和可靠性越來越受到關注。鋰電池內部的隔膜破損、極片錯位等缺陷,可能會導致電池短路、熱失控等嚴重問題。鎖相熱成像系統(tǒng)可以通過對鋰電池施加周期性的充放電激勵,使電池內部的缺陷區(qū)域產生異常的溫度變化。系統(tǒng)能夠捕捉到這些細微的溫度變化,并通過鎖相技術將其從復雜的背景信號中提取出來,從而定位缺陷的位置。這種檢測方式不僅能夠快速檢測出鋰電池的內部缺陷,還能對電池的性能進行評估,為鋰電池的生產質量控制和使用安全提供了有力的技術保障。
失效背景調查就像是為芯片失效分析開啟“導航系統(tǒng)”,能幫助分析人員快速了解芯片的基本情況,為后續(xù)工作奠定基礎。收集芯片型號是首要任務,不同型號的芯片在結構、功能和特性上存在差異,這是開展分析的基礎信息。同時,了解芯片的應用場景也不可或缺,是用于消費電子、工業(yè)控制還是航空航天等領域,不同的應用場景對芯片的性能要求不同,失效原因也可能大相徑庭。失效模式的收集同樣關鍵,短路、漏電、功能異常等不同的失效模式,指向的潛在問題各不相同。比如短路可能是由于內部線路故障,而漏電則可能與芯片的絕緣性能有關。失效比例的統(tǒng)計也有重要意義,如果同一批次芯片失效比例較高,可能暗示著設計缺陷或制程問題;如果只是個別芯片失效,那么應用不當的可能性相對較大。
鎖相熱成像系統(tǒng)解析電激勵產生的溫度場信息。
在光伏行業(yè),鎖相熱成像系統(tǒng)成為了太陽能電池板質量檢測的得力助手。太陽能電池板的質量直接影響其發(fā)電效率和使用壽命,而電池片隱裂、焊接不良等問題是影響質量的常見隱患。鎖相熱成像系統(tǒng)通過對電池板施加特定的熱激勵,能夠敏銳地捕捉到因這些缺陷產生的溫度響應差異,尤其是通過分析溫度響應的相位差異,能夠定位到細微的缺陷。這一技術的應用,幫助制造商及時發(fā)現生產過程中的問題,有效提高了產品的合格率,為提升太陽能組件的發(fā)電效率提供了堅實保障,推動了光伏產業(yè)的健康發(fā)展。三維可視化通過相位信息實現微米級深度定位功能,能夠無盲區(qū)再現被測物內部構造。長波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)
鎖相熱成像系統(tǒng)結合電激勵技術,可實現對電子元件工作狀態(tài)的實時監(jiān)測,及時發(fā)現潛在的過熱或接觸不良問題。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)聯系人
電激勵的鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產業(yè)的柔性電子檢測中展現出廣闊的應用前景,為柔性電子技術的發(fā)展提供了關鍵的質量控制手段。柔性電子具有可彎曲、重量輕、便攜性好等優(yōu)點,廣泛應用于柔性顯示屏、柔性傳感器、可穿戴設備等領域。然而,柔性電子材料通常較薄且易變形,傳統(tǒng)的機械檢測或接觸式檢測方法容易對其造成損傷。電激勵方式在柔性電子檢測中具有獨特優(yōu)勢,可采用低電流的周期性激勵,避免對柔性材料造成破壞。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠通過檢測柔性電子內部線路的溫度變化,識別出線路斷裂、層間剝離、電極脫落等缺陷。例如,在柔性顯示屏的檢測中,系統(tǒng)可以對顯示屏施加低電流電激勵,通過分析溫度場分布,發(fā)現隱藏在柔性基底中的細微線路缺陷,確保顯示屏的顯示效果和使用壽命。這一技術的應用,有效保障了柔性電子產品的質量,推動了電子產業(yè)中柔性電子技術的快速發(fā)展。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)聯系人