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芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-24

鎖相熱成像系統(tǒng)的組件各司其職,共同保障了系統(tǒng)的高效運(yùn)行。可調(diào)諧激光器作為重要的熱源,能夠提供穩(wěn)定且可調(diào)節(jié)頻率的周期性熱激勵(lì),以適應(yīng)不同被測物體的特性;紅外熱像儀則如同 “眼睛”,負(fù)責(zé)采集物體表面的溫度場分布,其高分辨率確保了溫度信息的細(xì)致捕捉;鎖相放大器是系統(tǒng)的 “中樞處理器” 之一,專門用于從復(fù)雜的信號(hào)中提取與激勵(lì)同頻的相位信息,過濾掉無關(guān)噪聲;數(shù)據(jù)處理單元?jiǎng)t對收集到的信息進(jìn)行綜合處理和分析,**終生成清晰、直觀的缺陷圖像。這些組件相互配合、協(xié)同工作,每個(gè)環(huán)節(jié)的運(yùn)作都不可或缺,共同確保了系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率、高對比度的檢測效果,滿足各種高精度檢測需求。電激勵(lì)的脈沖寬度與鎖相熱成像系統(tǒng)采樣頻率需匹配,通過參數(shù)優(yōu)化可大幅提高檢測信號(hào)的信噪比和清晰度。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能

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在當(dāng)今高科技蓬勃發(fā)展的時(shí)代,鎖相紅外熱成像系統(tǒng)也成其為“RTTLIT"以其獨(dú)特的優(yōu)勢,正逐漸成為紅外檢測領(lǐng)域的新寵。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的鎖相技術(shù),能夠捕捉目標(biāo)物體的微小溫度變化,為各行業(yè)提供前所未有的熱成像解決方案。鎖相紅外熱成像系統(tǒng)優(yōu)勢在于其高靈敏度和高分辨率的熱成像能力。無論是在復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中,還是在精密的科研實(shí)驗(yàn)中,該系統(tǒng)都能以超凡的性能,準(zhǔn)確快速地識(shí)別出熱異常,從而幫助用戶及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題,有效預(yù)防潛在風(fēng)險(xiǎn)。
無損鎖相紅外熱成像系統(tǒng)用戶體驗(yàn)系統(tǒng)的邏輯是通過 “周期性激勵(lì) - 熱響應(yīng) - 鎖相提取 - 特征分析” 的流程,將內(nèi)部結(jié)構(gòu)差異轉(zhuǎn)化為熱圖像特征。

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在半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展的現(xiàn)在,芯片集成度不斷提升,器件結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜,失效分析的難度也隨之大幅增加。傳統(tǒng)檢測設(shè)備往往難以兼顧微觀觀測與微弱信號(hào)捕捉,導(dǎo)致許多隱性缺陷成為 “漏網(wǎng)之魚”。蘇州致晟光電科技有限公司憑借自主研發(fā)實(shí)力,將熱紅外顯微鏡與鎖相紅外熱成像系統(tǒng)創(chuàng)造性地集成一體,推出 Thermal EMMI P 熱紅外顯微鏡系列檢測設(shè)備(搭載自主研發(fā)的 RTTLIT (實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外系統(tǒng)),為半導(dǎo)體的失效分析提供了全新的技術(shù)范式。


鎖相熱成像系統(tǒng)的電激勵(lì)方式在電子產(chǎn)業(yè)的多層電路板檢測中優(yōu)勢明顯,為多層電路板的生產(chǎn)質(zhì)量控制提供了高效解決方案。多層電路板由多個(gè)導(dǎo)電層和絕緣層交替疊加而成,層間通過過孔實(shí)現(xiàn)電氣連接,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,在生產(chǎn)過程中容易出現(xiàn)層間短路、盲孔堵塞、絕緣層破損等缺陷。這些缺陷會(huì)導(dǎo)致電路板的電氣性能下降,甚至引發(fā)短路故障。電激勵(lì)能夠通過不同層的線路施加電流,使電流在各層之間流動(dòng),缺陷處會(huì)因電流分布異常而產(chǎn)生溫度變化。鎖相熱成像系統(tǒng)可以通過檢測層間的溫度變化,精細(xì)定位缺陷的位置和類型。例如,檢測層間短路時(shí),系統(tǒng)會(huì)發(fā)現(xiàn)短路點(diǎn)處的溫度明顯高于周圍區(qū)域;檢測盲孔堵塞時(shí),會(huì)發(fā)現(xiàn)對應(yīng)位置的溫度分布異常。與傳統(tǒng)的 X 射線檢測相比,該系統(tǒng)的檢測速度更快,成本更低,而且能夠直觀地顯示缺陷的位置,助力多層電路板生產(chǎn)企業(yè)提高質(zhì)量控制水平。紅外熱成像模塊功能是實(shí)時(shí)采集被測物體表面的紅外輻射信號(hào),轉(zhuǎn)化為隨時(shí)間變化的溫度分布圖像序列。

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光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術(shù)常被集成于同一檢測系統(tǒng),合稱為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應(yīng)用上形成巧妙互補(bǔ),能夠協(xié)同應(yīng)對集成電路中絕大多數(shù)失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術(shù)的獨(dú)特優(yōu)勢在于,即便失效點(diǎn)被金屬層覆蓋形成“熱點(diǎn)”,其仍能通過光束照射引發(fā)的電阻變化特性實(shí)現(xiàn)精細(xì)檢測——這恰好彌補(bǔ)了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號(hào)捕捉受限的不足。鎖相熱成像系統(tǒng)提升電激勵(lì)檢測的抗干擾能力。制冷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)選購指南

電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)微缺陷檢測。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能

鎖相熱成像系統(tǒng)憑借電激勵(lì)在電子產(chǎn)業(yè)的芯片封裝檢測中表現(xiàn)出的性能,成為芯片制造過程中不可或缺的質(zhì)量控制手段。芯片封裝是保護(hù)芯片、實(shí)現(xiàn)電氣連接的關(guān)鍵環(huán)節(jié),在封裝過程中,可能會(huì)出現(xiàn)焊球空洞、引線鍵合不良、封裝體開裂等多種缺陷。這些缺陷會(huì)嚴(yán)重影響芯片的散熱性能和電氣連接可靠性,導(dǎo)致芯片在工作過程中因過熱而失效。通過對芯片施加特定的電激勵(lì),使芯片內(nèi)部產(chǎn)生熱量,缺陷處由于熱傳導(dǎo)受阻,會(huì)形成局部高溫區(qū)域。鎖相熱成像系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)捕捉芯片表面的溫度場分布,并通過分析溫度場的相位和振幅變化,生成清晰的缺陷圖像,精確顯示出缺陷的位置、大小和形態(tài)。例如,在檢測 BGA 封裝芯片時(shí),系統(tǒng)能準(zhǔn)確識(shí)別出焊球中的空洞,即使空洞體積占焊球體積的 5%,也能被定位。這一技術(shù)的應(yīng)用,幫助芯片制造企業(yè)及時(shí)發(fā)現(xiàn)封裝過程中的問題,有效降低了產(chǎn)品的不良率,提升了芯片產(chǎn)品的質(zhì)量。芯片用鎖相紅外熱成像系統(tǒng)功能