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可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手...

確定性主要分為兩種主要類(lèi)型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和非結(jié)構(gòu)(unstructured)不確定性,非結(jié)構(gòu)不確定性主要是由于測(cè)量噪聲、外界干擾及計(jì)算中的采樣時(shí)滯和舍入誤差等非被控對(duì)象自身因素所引起的不確定性。結(jié)構(gòu)不確定性和建模模型本身有關(guān)...

離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽(yáng)離子與銨鹽陽(yáng)離子將自發(fā)地進(jìn)行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結(jié)構(gòu)會(huì)因銨鹽的引入而發(fā)生彎曲變形,彎曲的片層之間發(fā)生縮聚,將有機(jī)物包圍在片層當(dāng)中,經(jīng)高溫?zé)Y(jié)除去有機(jī)物,...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

多功能一體化機(jī)械臂，包括機(jī)械臂主體，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機(jī)械臂，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn)，本機(jī)械...

微孔陶瓷簡(jiǎn)介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開(kāi)口氣孔和閉口氣孔之分，開(kāi)口氣孔具有過(guò)濾、吸收、吸附、消除回聲等作用，而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...

氧化鋁耐磨陶瓷襯在礦渣微粉生產(chǎn)線的網(wǎng)管里，微粉比表面積為420～450m2,濃度在350g/Nm3,速度在28～30m/s,沖刷角度為30℃的情況下，20mm的耐磨陶瓷襯片可以使用8～10年。生料磨和熟料磨粉磨的物料比礦渣容易磨，相同厚度的耐磨陶瓷襯片，使用壽...

3、四方氧化鋯多晶體陶瓷 四方氧化鋯多晶體陶瓷的晶粒很小，為了使亞穩(wěn)的四方相保留下來(lái)，必須采用超細(xì)、高純的氧化鋯粉體，且要準(zhǔn)確控制氧化釔的含量，燒結(jié)工藝中要采用低的溫度（1400℃）。 四方氧化鋯陶瓷通過(guò)相變?cè)鲰g具有很高的強(qiáng)度和斷裂韌性，但在中...

氧化鋯材料有多種優(yōu)異性能，特別是具有增韌的作用，因而被作為韌性陶瓷***地應(yīng)用的。它具有高的韌性、高的抗彎強(qiáng)度、高的硬度和耐磨性等特點(diǎn)，更顯示出應(yīng)用的***性。它在機(jī)械、電子、石油、化工、航天、紡織、精密測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)床、生物工程和醫(yī)療器械等行業(yè)...

3）整體性好。由于耐磨可塑料采取了雙重補(bǔ)強(qiáng)措施，有的甚至采取了多種補(bǔ)強(qiáng)措施，有效地改善了材料性能，使其體積穩(wěn)定，不可能產(chǎn)生裂縫，因而整體性好，另外施工為整體施工，無(wú)接縫出現(xiàn)，因而整體性進(jìn)一步提高。 （4）環(huán)境相容性好。由于采用了耐酸和耐堿...

半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見(jiàn)。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上...

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間...

年來(lái)全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴，并有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可...

機(jī)械臂是指高精度，多輸入多輸出、高度非線性、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng)。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機(jī)械臂是一個(gè)復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動(dòng)、外界干擾及未建模動(dòng)態(tài)等不確定性。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性，對(duì)于不同的任務(wù), 需...

混料機(jī)耐磨陶瓷襯板特點(diǎn)：具有耐磨、抗沖擊、耐腐蝕、耐高溫、施工方便等特點(diǎn)，是電力、冶金、煤炭、石 油、水泥、化工、機(jī)械等行業(yè)物料（如灰渣、煤粉、礦精粉、尾礦、水泥等）輸送設(shè)備表面耐磨的理想材料，在高溫腐蝕、高溫磨損或高溫熔蝕的場(chǎng)合下使用非常安 全可靠。 混料機(jī)...

微孔陶瓷吸盤(pán)的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(pán)(多孔陶瓷真空吸盤(pán))，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤(pán)是密...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷，又稱為陶瓷基復(fù)合材料或新型陶瓷，是一種基于陶瓷材料的高性能、高精度的先進(jìn)材料。這種材料具有出色的耐高溫性能、抗腐蝕性、高硬度、低密度、 度、高韌性等特點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于 、航天、汽車(chē)、電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。精密結(jié)構(gòu)陶瓷的制造過(guò)程需要經(jīng)過(guò)精細(xì)的配...

4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用最多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后，在Ar氣條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)溫度一般為1300～1500 ℃ ，反應(yīng)時(shí)間為2～4h，制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...

2．噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上，重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃，一般采用液壓驅(qū)動(dòng)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。3．焊接機(jī)械臂 這是目前使用最多的一類(lèi)機(jī)械臂，它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類(lèi)。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時(shí)，許多人會(huì)想到有手，有腳的人型...

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái)；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺(tái)呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺(tái)所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的偽絕緣凸臺(tái)，所述偽絕緣凸...

高強(qiáng)耐磨陶瓷料現(xiàn)在大家對(duì)環(huán)保越來(lái)越重視了低碳綠色已經(jīng)成為世界發(fā)展的首要趨勢(shì)，隨著人們生活水平和經(jīng)濟(jì)水平的不時(shí)提高。社會(huì)各界人士也將綠色低碳轉(zhuǎn)化為自己的一種生活態(tài)度。耐磨行業(yè)也不甘落后，刮起這股清新之風(fēng)，綠色之風(fēng)將會(huì)帶動(dòng)整個(gè)行業(yè)的科技創(chuàng)新邁向一個(gè)全新的領(lǐng)域，上升...

2、工藝要精湛 只有現(xiàn)成的設(shè)備還不足以百分百保證氧化鋯陶瓷的產(chǎn)品質(zhì)量，還應(yīng)該擁有配套的生產(chǎn)工藝，所以氧化鋯陶瓷生產(chǎn)工藝是否精湛就是企業(yè)選擇生產(chǎn)廠家時(shí)需要注意的另一個(gè)重點(diǎn)。只有工藝好，才能讓生產(chǎn)出來(lái)的產(chǎn)品在耐磨、耐腐蝕、耐高溫、耐酸堿度等方面表現(xiàn)更好，...

一、成型氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種：熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對(duì)于氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷小型產(chǎn)品或形狀復(fù)雜的產(chǎn)品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡(jiǎn)單，特別適宜于生產(chǎn)批量大或形狀復(fù)雜的中小型產(chǎn)品。但氧化鋯熱壓鑄...

高致密性陶瓷真空吸盤(pán)(多孔陶瓷真空吸盤(pán))，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤(pán)是密封的空氣來(lái)維持傳輸，裝置應(yīng)用***用于平坦，無(wú)孔...

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的，可重復(fù)編程、多用途，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度，用以抓取或移動(dòng)物體...

受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響，兩市**小幅低開(kāi)，低開(kāi)后的市場(chǎng)在抄底盤(pán)和北上資金的推動(dòng)下震蕩走高，早間收盤(pán)全線收漲，午后在科技板塊的帶動(dòng)下市場(chǎng)繼續(xù)震蕩走高，最終兩市**以中陽(yáng)報(bào)收。 昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費(fèi)和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢(shì)...

由于氧化鋯陶瓷零件強(qiáng)度極高，而且韌性好也是這一陶瓷制品的明顯優(yōu)點(diǎn)。故而憑借這兩個(gè)優(yōu)點(diǎn)氧化鋯陶瓷零部件被應(yīng)用在汽車(chē)配件領(lǐng)域中，通常在發(fā)動(dòng)機(jī)的相關(guān)構(gòu)件中諸如連桿以及活塞帽等部件都可以使用氧化鋯陶瓷制品，這將極大增加陶瓷零件的市場(chǎng)需要。 市場(chǎng)的總是會(huì)選擇高...

區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長(zhǎng)；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長(zhǎng)的不同捏？這是由于硅的熔點(diǎn)高，化學(xué)性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來(lái)盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的...

有機(jī)泡沫浸漬工藝 有機(jī)泡沫浸漬法是用有機(jī)泡沫浸漬陶瓷漿料，干燥后燒掉有機(jī)泡沫，獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開(kāi)口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前最主要的多孔陶瓷之一。 溶膠－凝膠工藝 溶膠- 凝膠工藝主...