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中清航科飛秒激光雙光子聚合技術(shù)：在PDMS基板上直寫三維微流道（最小寬度15μm），切割精度達(dá)±0.25μm，替代傳統(tǒng)光刻工藝，開發(fā)成本降低80%。中清航科推出“切割即服務(wù)”（DaaS）：客戶按實(shí)際切割面積付費(fèi)（$0.35/英寸），包含設(shè)備/耗材/維護(hù)全包。初...

半導(dǎo)體制造對潔凈度要求嚴(yán)苛，晶圓切割環(huán)節(jié)的微塵污染可能導(dǎo)致芯片失效。中清航科的切割設(shè)備采用全封閉防塵結(jié)構(gòu)與高效 HEPA 過濾系統(tǒng)，工作區(qū)域潔凈度達(dá)到 Class 1 標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)配備激光誘導(dǎo)等離子體除塵裝置，實(shí)時(shí)清理切割產(chǎn)生的微米級顆粒，使產(chǎn)品不良率降低至 0...

中清航科建立了完善的流片代理服務(wù)知識庫，積累了超過 10 萬條流片工藝數(shù)據(jù)、問題解決方案與最佳實(shí)踐案例。該知識庫通過自然語言處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)智能檢索，客戶與內(nèi)部員工可快速找到相關(guān)信息，如特定工藝節(jié)點(diǎn)的常見問題、相似產(chǎn)品的流片方案等。知識庫每月更新，納入較新的流片技...

在晶圓切割的邊緣檢測精度提升上，中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺技術(shù)。通過兩個(gè)高分辨率工業(yè)相機(jī)從不同角度采集晶圓邊緣圖像，經(jīng)三維重建算法精確計(jì)算邊緣位置，即使晶圓存在微小翹曲，也能確保切割路徑的精確定位，邊緣檢測誤差控制在 1μm 以內(nèi)，大幅提升切割良率。為適...

面對半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)能波動(dòng)，中清航科構(gòu)建了靈活的產(chǎn)能調(diào)配機(jī)制，確?？蛻舻牧髌枨蟮玫椒€(wěn)定滿足。其建立了動(dòng)態(tài)產(chǎn)能監(jiān)測系統(tǒng)，實(shí)時(shí)跟蹤全球主要晶圓廠的產(chǎn)能利用率、交貨周期等數(shù)據(jù)，提前了3 個(gè)月預(yù)判產(chǎn)能緊張節(jié)點(diǎn)，及時(shí)通知客戶調(diào)整流片計(jì)劃。針對突發(fā)產(chǎn)能短缺，啟動(dòng)備用晶圓廠...

中清航科注重為客戶提供持續(xù)的技術(shù)支持，即使流片完成后仍保留 1 年的技術(shù)服務(wù)期?？蛻粼谛酒瑴y試或應(yīng)用過程中遇到與流片相關(guān)的問題，技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)提供分析支持，如協(xié)助排查工藝導(dǎo)致的性能偏差、提供二次流片的優(yōu)化建議等。去年某 AI 芯片客戶量產(chǎn)時(shí)出現(xiàn)良率波動(dòng)，其技術(shù)團(tuán)隊(duì)...

8 英寸晶圓在功率半導(dǎo)體、MEMS 等領(lǐng)域仍占據(jù)重要市場份額，中清航科針對這類成熟制程開發(fā)的切割設(shè)備，兼顧效率與性價(jià)比。設(shè)備采用雙主軸并行切割設(shè)計(jì)，每小時(shí)可加工 40 片 8 英寸晶圓，且通過優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)降低振動(dòng)噪聲至 65 分貝以下，為車間創(chuàng)造更友好的工作環(huán)...

流片過程中的測試方案設(shè)計(jì)直接影響產(chǎn)品質(zhì)量驗(yàn)證效果，中清航科的測試工程團(tuán)隊(duì)具備豐富經(jīng)驗(yàn)。根據(jù)芯片應(yīng)用場景，定制化設(shè)計(jì)測試向量與測試流程，覆蓋功能測試、性能測試、可靠性測試等全維度。針對高頻芯片，引入微波探針臺與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，實(shí)現(xiàn) 110GHz 以內(nèi)的高頻參數(shù)精...

未來流片技術(shù)將向更先進(jìn)制程、更高集成度發(fā)展，中清航科持續(xù)投入研發(fā)，構(gòu)建前瞻性的流片代理能力。在 3D IC 領(lǐng)域，與晶圓廠合作開發(fā) TSV 與混合鍵合流片方案，支持芯片堆疊的高精度對準(zhǔn)，已成功代理多個(gè) 3D 堆疊芯片的流片項(xiàng)目，鍵合良率達(dá)到 99% 以上。針對...

在晶圓切割設(shè)備的自動(dòng)化升級浪潮中，中清航科走在行業(yè)前列。其新推出的智能切割單元，可與前端光刻設(shè)備、后端封裝設(shè)備實(shí)現(xiàn)無縫對接，通過 SECS/GEM 協(xié)議完成數(shù)據(jù)交互，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)全流程的自動(dòng)化閉環(huán)。該單元還具備自我診斷功能，能提前預(yù)警潛在故障，將非計(jì)劃停機(jī)時(shí)...

面對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的區(qū)域化布局趨勢，中清航科建立了覆蓋亞洲、歐洲、北美地區(qū)的本地化服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。其 7×24 小時(shí)在線技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)，可通過遠(yuǎn)程診斷系統(tǒng)快速定位設(shè)備故障，配合就近備件倉庫，將平均故障修復(fù)時(shí)間（MTTR）控制在 4 小時(shí)以內(nèi)，確?？蛻羯a(chǎn)線的連續(xù)穩(wěn)定...

中清航科開放6條全自動(dòng)切割產(chǎn)線，支持從8英寸化合物半導(dǎo)體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統(tǒng)實(shí)時(shí)追蹤進(jìn)度，平均交貨周期48小時(shí)，良率承諾99.2%。先進(jìn)封裝RDL層切割易引發(fā)銅箔撕裂。中清航科應(yīng)用超快飛秒激光（脈寬400fs）配合氦氣保護(hù)，在銅-硅界面形...

大規(guī)模量產(chǎn)場景中，晶圓切割的穩(wěn)定性與一致性至關(guān)重要。中清航科推出的全自動(dòng)切割生產(chǎn)線，集成自動(dòng)上下料、在線檢測與 NG 品分揀功能，單臺設(shè)備每小時(shí)可處理 30 片 12 英寸晶圓，且通過工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺實(shí)現(xiàn)多設(shè)備協(xié)同管控，設(shè)備綜合效率（OEE）提升至 90% 以上...

流片過程中的質(zhì)量管控是中清航科的主要優(yōu)勢之一，其建立了覆蓋設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、測試的全流程質(zhì)量管理體系。在設(shè)計(jì)階段，引入第三方 DFM 工具進(jìn)行單獨(dú)審核，確保設(shè)計(jì)方案符合晶圓廠工藝要求；生產(chǎn)階段，派駐駐廠工程師實(shí)時(shí)監(jiān)督關(guān)鍵工藝，每 2 小時(shí)記錄一次工藝參數(shù)，形成完整的...

中清航科的流片代理服務(wù)注重技術(shù)創(chuàng)新，每年投入營收的 15% 用于研發(fā)。其研發(fā)團(tuán)隊(duì)專注于流片工藝優(yōu)化、數(shù)字化服務(wù)平臺開發(fā)、新材料流片技術(shù)研究等領(lǐng)域，已申請發(fā)明專利 80 余項(xiàng)，其中 “一種基于人工智能的流片參數(shù)優(yōu)化方法” 獲得國家發(fā)明專利獎(jiǎng)。通過持續(xù)創(chuàng)新，不斷提...

中清航科兆聲波清洗技術(shù)結(jié)合納米氣泡噴淋，去除切割道深槽內(nèi)的微顆粒。流體仿真設(shè)計(jì)使清洗液均勻覆蓋15:1深寬比結(jié)構(gòu)，殘留物<5ppb，電鏡檢測達(dá)標(biāo)率100%。中清航科推出刀片/激光器租賃服務(wù)：通過云平臺監(jiān)控耗材使用狀態(tài)，按實(shí)際切割長度計(jì)費(fèi)?？蛻鬋APEX（資本支...

在晶圓切割設(shè)備的自動(dòng)化升級浪潮中，中清航科走在行業(yè)前列。其新推出的智能切割單元，可與前端光刻設(shè)備、后端封裝設(shè)備實(shí)現(xiàn)無縫對接，通過 SECS/GEM 協(xié)議完成數(shù)據(jù)交互，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)全流程的自動(dòng)化閉環(huán)。該單元還具備自我診斷功能，能提前預(yù)警潛在故障，將非計(jì)劃停機(jī)時(shí)...

在晶圓切割的質(zhì)量檢測方面，中清航科引入了三維形貌檢測技術(shù)。通過高分辨率 confocal 顯微鏡對切割面進(jìn)行三維掃描，生成精確的表面粗糙度與輪廓數(shù)據(jù)，粗糙度測量精度可達(dá) 0.1nm，為工藝優(yōu)化提供量化依據(jù)。該檢測結(jié)果可直接與客戶的質(zhì)量系統(tǒng)對接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的無縫流...

針對小批量多品種的研發(fā)型生產(chǎn)需求，中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設(shè)計(jì)的切割設(shè)備可在 30 分鐘內(nèi)完成不同規(guī)格晶圓的換型調(diào)整，配合云端工藝數(shù)據(jù)庫，存儲超過 1000 種標(biāo)準(zhǔn)工藝參數(shù)，工程師可快速調(diào)用并微調(diào)，大幅縮短新產(chǎn)品導(dǎo)入周期，為科研機(jī)構(gòu)與初創(chuàng)企業(yè)提...

對于需要進(jìn)行車規(guī)級功率器件流片的客戶，中清航科提供符合 AEC-Q101 標(biāo)準(zhǔn)的流片代理服務(wù)。其與具備車規(guī)級功率器件生產(chǎn)資質(zhì)的晶圓廠合作，熟悉 IGBT、MOSFET 等功率器件的流片工藝，能為客戶提供芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、柵極氧化層優(yōu)化、終端結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等專業(yè)服務(wù)。在流...

中清航科的流片代理服務(wù)注重客戶體驗(yàn)的持續(xù)優(yōu)化，通過客戶反饋系統(tǒng)收集服務(wù)過程中的問題與建議。每月召開客戶體驗(yàn)改進(jìn)會(huì)議，針對反饋的問題制定整改措施，并跟蹤整改效果，確保問題解決率達(dá)到 100%。定期進(jìn)行客戶滿意度調(diào)查，根據(jù)調(diào)查結(jié)果調(diào)整服務(wù)流程與內(nèi)容，去年客戶滿意度...

為滿足汽車電子追溯要求，中清航科在切割機(jī)集成區(qū)塊鏈模塊。每片晶圓生成單獨(dú)工藝參數(shù)數(shù)字指紋（含切割速度、溫度、振動(dòng)數(shù)據(jù)），直通客戶MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)零缺陷溯源。面向下一代功率器件，中清航科開發(fā)等離子體輔助切割（PAC）。利用微波激發(fā)氧等離子體軟化切割區(qū)材料，同步機(jī)...

中清航科ESG解決方案：設(shè)備內(nèi)置能源管理模塊，智能調(diào)節(jié)激光功率與主軸轉(zhuǎn)速，單次切割能耗降低42%。碳追蹤平臺每8小時(shí)生成減排報(bào)告，助力客戶達(dá)成碳中和目標(biāo)，已獲全球25家代工廠采購認(rèn)證。功率器件背面金層在切割中易翹曲。中清航科開發(fā)脈沖電流輔助切割，在刀片-晶圓界...

中清航科原子層精切技術(shù)：采用氬離子束定位轟擊（束斑直徑2nm），實(shí)現(xiàn)石墨烯晶圓無損傷分離。邊緣鋸齒度<5nm，電導(dǎo)率波動(dòng)控制在±0.5%，滿足量子芯片基材需求。中清航科SmartCool系統(tǒng)通過在線粘度計(jì)與pH傳感器，實(shí)時(shí)調(diào)整冷卻液濃度（精度±0.1%）。延長...

中小設(shè)計(jì)企業(yè)往往面臨流片經(jīng)驗(yàn)不足、資金有限等問題，中清航科推出針對性的創(chuàng)業(yè)扶持流片代理方案。為初創(chuàng)企業(yè)提供的 DFM 咨詢服務(wù)，幫助優(yōu)化設(shè)計(jì)方案，降低流片風(fēng)險(xiǎn)；首輪流片享受 30% 的費(fèi)用減免，同時(shí)提供分期付款選項(xiàng)，較長可分 6 期支付。在技術(shù)支持方面，配備專...

中清航科CutSim軟件建立熱-力-流體耦合模型，預(yù)測切割溫度場/應(yīng)力場分布。輸入材料參數(shù)即可優(yōu)化工藝，客戶開發(fā)周期縮短70%，試錯(cuò)成本下降$50萬/項(xiàng)目。針對MEMS陀螺儀等真空封裝器件，中清航科提供10??Pa級真空切割艙。消除空氣阻尼影響，切割后器件Q值...

在流片文件的標(biāo)準(zhǔn)化處理方面，中清航科擁有成熟的轉(zhuǎn)換體系。不同晶圓廠對 GDSII、OASIS 等文件格式的要求存在差異，其自主開發(fā)的文件轉(zhuǎn)換工具可實(shí)現(xiàn)一鍵適配，自動(dòng)檢測并修正圖層、尺寸偏差等問題。針對先進(jìn)制程中的 OPC（光學(xué)鄰近校正）要求，技術(shù)團(tuán)隊(duì)會(huì)進(jìn)行專項(xiàng)...

中清航科飛秒激光雙光子聚合技術(shù)：在PDMS基板上直寫三維微流道（最小寬度15μm），切割精度達(dá)±0.25μm，替代傳統(tǒng)光刻工藝，開發(fā)成本降低80%。中清航科推出“切割即服務(wù)”（DaaS）：客戶按實(shí)際切割面積付費(fèi)（$0.35/英寸），包含設(shè)備/耗材/維護(hù)全包。初...

流片代理服務(wù)中的應(yīng)急產(chǎn)能保障是中清航科的重要優(yōu)勢，其與晶圓廠簽訂了應(yīng)急產(chǎn)能協(xié)議，預(yù)留 5% 的應(yīng)急產(chǎn)能用于應(yīng)對客戶的緊急需求。當(dāng)客戶因市場突發(fā)需求或流片失敗需要緊急補(bǔ)流時(shí)，可在 24 小時(shí)內(nèi)啟動(dòng)應(yīng)急產(chǎn)能，將緊急流片周期壓縮至常規(guī)周期的 50%。某智能手機(jī)芯片客...

通過拉曼光譜掃描切割道，中清航科提供殘余應(yīng)力分布云圖（分辨率5μm），并推薦退火工藝參數(shù)。幫助客戶將芯片翹曲風(fēng)險(xiǎn)降低70%，服務(wù)已用于10家頭部IDM企業(yè)。中清航科技術(shù)結(jié)合機(jī)械切割速度與激光切割精度：對硬質(zhì)區(qū)采用刀切，對脆弱區(qū)域切換激光加工。動(dòng)態(tài)切換時(shí)間<0....