環(huán)保節(jié)能:與一些傳統(tǒng)的表面處理工藝相比,鍍膜機(jī)在鍍膜過程中通常不需要使用大量的化學(xué)藥品和有機(jī)溶劑,減少了廢水、廢氣的排放,對(duì)環(huán)境更加友好。同時(shí),鍍膜機(jī)的能源利用效率較高,能夠在較低的溫度和壓力下進(jìn)行鍍膜,降低了能源消耗。生產(chǎn)效率較高:鍍膜機(jī)可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作,...
光學(xué)鍍膜機(jī):用于制備增透膜、高反膜、截止濾光片、防偽膜等,廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡頭、眼鏡、激光器等領(lǐng)域。 電子鍍膜機(jī):用于半導(dǎo)體、集成電路的金屬化層、絕緣層沉積,如薄膜電阻器、薄膜電容器等。 裝飾鍍膜機(jī):用于手表、首飾、手機(jī)外殼等裝飾涂層,可實(shí)現(xiàn)仿金...
濺射鍍膜機(jī): 原理與特點(diǎn):濺射鍍膜機(jī)利用高能粒子(如氬離子)轟擊靶材,使靶材原子濺射并沉積到基體表面。該技術(shù)膜層致密、附著力強(qiáng),適合復(fù)雜工件,且可沉積材料種類多樣。優(yōu)勢(shì):廣泛應(yīng)用于刀具硬質(zhì)涂層(如TiN、CrN)、半導(dǎo)體金屬互聯(lián)層、光伏薄膜電池等。可...
汽車工業(yè)領(lǐng)域: 汽車玻璃鍍膜:在汽車擋風(fēng)玻璃、車窗玻璃上鍍膜,可以實(shí)現(xiàn)隔熱、防紫外線、增加透光率等功能。例如,隔熱膜可以降低車內(nèi)溫度,減少空調(diào)能耗;防紫外線膜可以保護(hù)車內(nèi)人員和內(nèi)飾免受紫外線的傷害。汽車零部件鍍膜:對(duì)汽車發(fā)動(dòng)機(jī)零部件、輪轂、車身等進(jìn)行...
輝光放電與離子轟擊:在真空腔體內(nèi)充入惰性氣體(如氬氣),施加高壓電場(chǎng)使氣體電離,形成等離子體。等離子體中的正離子(如Ar?)在電場(chǎng)作用下加速轟擊靶材表面,將靶材原子或分子濺射出來。 磁場(chǎng)約束電子運(yùn)動(dòng):通過在靶材表面施加垂直電場(chǎng)的磁場(chǎng),使電子在電場(chǎng)和磁...
產(chǎn)業(yè)化與多元化發(fā)展(20 世紀(jì) 90 年代 - 21 世紀(jì)初)1990 年代中期至 2000 年代初,真空鍍膜機(jī)進(jìn)入自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化階段。以深圳先進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)的企業(yè)為,一批磁控濺射真空鍍膜設(shè)備生產(chǎn)商涌現(xiàn),不僅具備自主研發(fā)和生產(chǎn)能力,還將產(chǎn)品推向市場(chǎng),滿足...
電子信息領(lǐng)域: 半導(dǎo)體芯片制造:在芯片制造過程中,需要通過鍍膜技術(shù)在硅片上沉積各種薄膜,如絕緣膜、導(dǎo)電膜、阻擋層膜等。這些薄膜用于構(gòu)建芯片的電路結(jié)構(gòu)、隔離不同的功能區(qū)域,以及提高芯片的性能和可靠性。平板顯示器:液晶顯示器(LCD)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示...
蒸發(fā)鍍膜機(jī):蒸發(fā)鍍膜機(jī)運(yùn)用高溫加熱,讓鍍膜材料從固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)。加熱方式涵蓋電阻加熱、電子束加熱和高頻感應(yīng)加熱。以電阻加熱為例,當(dāng)電流通過高電阻材料,電能轉(zhuǎn)化為熱能,使鍍膜材料升溫蒸發(fā)。在真空環(huán)境中,氣態(tài)的鍍膜材料原子或分子做無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng),向四周擴(kuò)散,...
濺射鍍膜: 原理:濺射鍍膜是在真空環(huán)境下,利用荷能粒子(如氬離子)轟擊靶材(鍍膜材料)表面。當(dāng)氬離子高速撞擊靶材時(shí),靶材表面的原子會(huì)被濺射出來。這些被濺射出來的原子具有一定的動(dòng)能,它們會(huì)在真空室中飛行,并沉積在基底表面形成薄膜。與真空蒸發(fā)鍍膜不同的是...
增強(qiáng)耐磨性:通過在材料表面鍍上一層硬度高、耐磨性能好的薄膜,如氮化鈦、碳化鎢等涂層,可以顯著提高材料表面的硬度和抗磨損能力,延長(zhǎng)材料的使用壽命。例如在機(jī)械加工刀具上鍍膜,可使刀具在切削過程中更耐磨損,減少刀具的更換頻率,提高加工效率。提高耐腐蝕性:鍍膜能夠在材...
裝飾和防護(hù)領(lǐng)域: 五金裝飾鍍膜:對(duì)五金制品如門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜??梢藻兩细鞣N顏色的金屬膜,如仿金色(通過鍍氮化鈦等薄膜來模擬金色外觀),用于裝飾目的,使產(chǎn)品更加美觀。同時(shí),這些鍍膜還可以提供一定的防護(hù)作用,如防腐蝕、防指紋等。 汽車零部件...
真空腔室材質(zhì):不銹鋼(耐腐蝕、易清潔),內(nèi)壁拋光以減少薄膜沉積死角。配置: 靶材組件:多個(gè)電弧靶(可旋轉(zhuǎn)或固定),靶材材質(zhì)根據(jù)膜層需求選擇(如鈦、鉻、鋯、不銹鋼等)。 工件架:可旋轉(zhuǎn)或行星運(yùn)動(dòng),確保工件表面均勻受鍍(公轉(zhuǎn) + 自轉(zhuǎn))。 進(jìn)...
離子鍍機(jī): 原理與特點(diǎn):離子鍍機(jī)在鍍膜過程中引入離子轟擊,通過高能粒子碰撞改善膜層性能。該技術(shù)膜層附著力極強(qiáng),可制備超硬、耐磨涂層,繞鍍性能優(yōu)異。 優(yōu)勢(shì):適用于航空航天部件防護(hù)涂層(如DLC、TiAlN)、汽車活塞環(huán)耐磨鍍層等??蓪?shí)現(xiàn)多種材料的...
二次電子的能量利用:濺射過程中產(chǎn)生的二次電子在磁場(chǎng)作用下被束縛在靶材表面附近,進(jìn)一步參與氣體電離,形成自持的放電過程。由于二次電子能量較低,終沉積在基片上的能量很小,基片溫升較低。 磁場(chǎng)分布對(duì)濺射的影響: 平衡磁控濺射:磁場(chǎng)在靶材表面均勻分布,...
實(shí)現(xiàn)特殊功能光學(xué)性能調(diào)控:在光學(xué)領(lǐng)域,鍍膜機(jī)可以通過精確控制薄膜的厚度和折射率等參數(shù),制備出具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些光學(xué)薄膜廣泛應(yīng)用于相機(jī)鏡頭、望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、太陽能電池等領(lǐng)域,能夠提高光學(xué)元件的透光率、反射率等性能,改善成像質(zhì)...
按其他標(biāo)準(zhǔn)分類: MBE分子束外延鍍膜機(jī):是一種用于制備高質(zhì)量薄膜的先進(jìn)設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)和超導(dǎo)等領(lǐng)域。 PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī):利用高能激光束轟擊靶材,使靶材物質(zhì)以離子或原子團(tuán)的形式濺射出來,并沉積在基片上形成薄膜。 此外,...
裝飾和防護(hù)領(lǐng)域: 五金裝飾鍍膜:對(duì)五金制品如門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜??梢藻兩细鞣N顏色的金屬膜,如仿金色(通過鍍氮化鈦等薄膜來模擬金色外觀),用于裝飾目的,使產(chǎn)品更加美觀。同時(shí),這些鍍膜還可以提供一定的防護(hù)作用,如防腐蝕、防指紋等。 汽車零部件...
改善材料外觀提高光澤度:鍍膜可以使材料表面獲得極高的光澤度,使其看起來更加光滑、亮麗。比如在汽車零部件、家具五金件等表面進(jìn)行鍍膜處理,能夠提升產(chǎn)品的外觀質(zhì)感,增加產(chǎn)品的視覺吸引力,提高產(chǎn)品的附加值。豐富顏色選擇:鍍膜技術(shù)可以通過控制鍍膜材料的成分、厚度等參數(shù),...
按其他標(biāo)準(zhǔn)分類: MBE分子束外延鍍膜機(jī):是一種用于制備高質(zhì)量薄膜的先進(jìn)設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)和超導(dǎo)等領(lǐng)域。 PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī):利用高能激光束轟擊靶材,使靶材物質(zhì)以離子或原子團(tuán)的形式濺射出來,并沉積在基片上形成薄膜。 此外,...
二次電子的能量利用:濺射過程中產(chǎn)生的二次電子在磁場(chǎng)作用下被束縛在靶材表面附近,進(jìn)一步參與氣體電離,形成自持的放電過程。由于二次電子能量較低,終沉積在基片上的能量很小,基片溫升較低。 磁場(chǎng)分布對(duì)濺射的影響: 平衡磁控濺射:磁場(chǎng)在靶材表面均勻分布,...
離子鍍膜機(jī):利用離子轟擊基板表面以改善涂層附著性和膜厚均勻性,適用于制備金屬、陶瓷和聚合物等材料的薄膜。蒸發(fā)鍍膜機(jī):通過加熱材料讓其蒸發(fā)并沉積在基板表面形成薄膜,包括電阻蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備等。蒸發(fā)鍍膜機(jī)操作簡(jiǎn)單、制備工藝成熟,廣泛應(yīng)用于金...
離子鍍膜機(jī):離子鍍膜機(jī)融合了蒸發(fā)鍍膜與濺射鍍膜的優(yōu)勢(shì)。鍍膜材料在蒸發(fā)過程中,部分原子或分子被電離成離子。這些離子在電場(chǎng)的加速作用下,以較高的能量沉積到工件表面??招年帢O離子鍍膜機(jī)通過空心陰極放電產(chǎn)生等離子體,多弧離子鍍膜機(jī)則利用弧光放電使靶材蒸發(fā)并電離,離子在...
裝飾和防護(hù)領(lǐng)域: 五金裝飾鍍膜:對(duì)五金制品如門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜??梢藻兩细鞣N顏色的金屬膜,如仿金色(通過鍍氮化鈦等薄膜來模擬金色外觀),用于裝飾目的,使產(chǎn)品更加美觀。同時(shí),這些鍍膜還可以提供一定的防護(hù)作用,如防腐蝕、防指紋等。 汽車零部件...
增強(qiáng)耐磨性:通過在材料表面鍍上一層硬度高、耐磨性能好的薄膜,如氮化鈦、碳化鎢等涂層,可以顯著提高材料表面的硬度和抗磨損能力,延長(zhǎng)材料的使用壽命。例如在機(jī)械加工刀具上鍍膜,可使刀具在切削過程中更耐磨損,減少刀具的更換頻率,提高加工效率。提高耐腐蝕性:鍍膜能夠在材...
實(shí)現(xiàn)特殊功能光學(xué)性能調(diào)控:在光學(xué)領(lǐng)域,鍍膜機(jī)可以通過精確控制薄膜的厚度和折射率等參數(shù),制備出具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些光學(xué)薄膜廣泛應(yīng)用于相機(jī)鏡頭、望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、太陽能電池等領(lǐng)域,能夠提高光學(xué)元件的透光率、反射率等性能,改善成像質(zhì)...
光學(xué)鏡片和鏡頭應(yīng)用:鍍制增透膜、反射膜、濾光膜等功能性薄膜,改善光學(xué)元件的性能。激光器件應(yīng)用:鍍制高反射率的金屬膜或介質(zhì)膜,提高激光的反射效率和輸出功率。太陽能電池應(yīng)用:制備減反射膜和金屬電極薄膜,提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。建筑裝飾應(yīng)用:在玻璃幕墻、金屬門...
離子鍍膜機(jī):離子鍍膜機(jī)融合了蒸發(fā)鍍膜與濺射鍍膜的優(yōu)勢(shì)。鍍膜材料在蒸發(fā)過程中,部分原子或分子被電離成離子。這些離子在電場(chǎng)的加速作用下,以較高的能量沉積到工件表面??招年帢O離子鍍膜機(jī)通過空心陰極放電產(chǎn)生等離子體,多弧離子鍍膜機(jī)則利用弧光放電使靶材蒸發(fā)并電離,離子在...
其他優(yōu)勢(shì): 適用范圍廣:鍍膜機(jī)可以在各種不同的材料表面進(jìn)行鍍膜,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,幾乎涵蓋了所有常見的材料類型。而且對(duì)于不同形狀、尺寸的工件,無論是平面、曲面還是復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu),都可以通過適當(dāng)?shù)腻兡すに囘M(jìn)行處理,具有很強(qiáng)的適應(yīng)性。環(huán)保節(jié)能...
鍍膜機(jī)的組件: 真空系統(tǒng)提供高真空環(huán)境(通常為10?3至10?? Pa),防止薄膜材料氧化或污染。鍍膜源蒸發(fā)源(電阻加熱、電子束加熱)、濺射靶材、化學(xué)前驅(qū)體供應(yīng)裝置等?;膴A具固定和旋轉(zhuǎn)基材,確保薄膜均勻性??刂葡到y(tǒng)監(jiān)控和調(diào)節(jié)真空度、溫度、沉積速率等...
多弧離子鍍膜機(jī)是一種基于 電弧離子鍍技術(shù)(Arc Ion Plating, AIP)的真空鍍膜設(shè)備,主要用于在工件表面沉積高性能薄膜(如硬質(zhì)涂層、裝飾涂層、功能涂層等)。其原理是通過電弧放電使靶材離子化,然后在電場(chǎng)作用下將離子沉積到工件表面形成薄膜。該技術(shù)...