響應(yīng)機(jī)械行業(yè)的環(huán)保要求,新巴頓分子泵軸承采用綠色制造工藝。熱處理工序使用真空淬火(無(wú)油煙排放),能耗較傳統(tǒng)鹽浴淬火降低 40%;包裝材料采用可降解塑料(降解率≥90%),減少白色污染。軸承潤(rùn)滑脂采用生物基合成油(如聚 α- 烯烴 PAO),廢棄后可自然降解,符合歐盟 REACH 法規(guī)(SVHC 清單≤0.1%)。在工程機(jī)械的真空吸塵設(shè)備中,這種環(huán)保設(shè)計(jì)使整機(jī)的 EcoVadis 評(píng)級(jí)提升至銀級(jí),滿足客戶的 ESG 合規(guī)需求,助力機(jī)械行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。巴頓分子泵軸承——新能源領(lǐng)域的方案。黃浦區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承
新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),以滿足機(jī)械行業(yè)對(duì)真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤(rùn)滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機(jī)械啟停的溫度波動(dòng)中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機(jī)械工藝的真空度提供可靠保障。靜安區(qū)C1905HX205Y114DF分子泵軸承巴頓分子泵軸承:耐腐蝕,延長(zhǎng)使用壽命。
新巴頓針對(duì)機(jī)械行業(yè)的緊急需求,建立分子泵軸承的快速響應(yīng)機(jī)制。常規(guī)型號(hào)(如 6007、7205AC)庫(kù)存達(dá) 500 套以上,下單后 24 小時(shí)內(nèi)發(fā)貨;定制型號(hào)通過(guò)模塊化設(shè)計(jì),縮短交貨周期至 15-20 天,比行業(yè)平均周期(30-45 天)提升 50%。在機(jī)械制造集中的區(qū)域(如長(zhǎng)三角、珠三角)設(shè)立倉(cāng)庫(kù),通過(guò) VMI(供應(yīng)商管理庫(kù)存)模式為大型機(jī)械企業(yè)提供寄售服務(wù),庫(kù)存周轉(zhuǎn)率達(dá) 12 次 / 年,降低用戶的庫(kù)存成本。這種供貨效率可減少機(jī)械行業(yè)的停機(jī)等待時(shí)間,尤其適用于緊急維修場(chǎng)景,保障生產(chǎn)連續(xù)性。
推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級(jí)推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預(yù)緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)量控制在 3μm 以內(nèi)。在某電子束蒸發(fā)設(shè)備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動(dòng)不超過(guò) 5nm,滿足光學(xué)薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導(dǎo)致的應(yīng)力集中,使軸向載荷均勻分布。摩擦系數(shù)低至 0.002,新巴頓分子泵軸承提升機(jī)械能效,降低能耗。
隨著半導(dǎo)體制程向 3nm 以下演進(jìn),分子泵軸承正朝超高速、低功耗方向發(fā)展。新巴頓研發(fā)的 SiC 陶瓷軸承,其熱導(dǎo)率(400W/m?K)是氧化鋯陶瓷的 10 倍,可將軸承溫升控制在 15℃以內(nèi),適配 20 萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘的超高速分子泵。同時(shí),基于仿生學(xué)的表面織構(gòu)技術(shù),在滾道表面加工微米級(jí)凹坑儲(chǔ)油槽,使?jié)櫥侍嵘?30%,有望實(shí)現(xiàn)全壽命免維護(hù)。此外,公司正在開(kāi)發(fā)的智能軸承,內(nèi)置微型傳感器,可實(shí)時(shí)傳輸溫度、振動(dòng)、載荷數(shù)據(jù),通過(guò)邊緣計(jì)算實(shí)現(xiàn)故障預(yù)警,推動(dòng)分子泵系統(tǒng)向預(yù)測(cè)性維護(hù)升級(jí)。這些技術(shù)創(chuàng)新將助力我國(guó)真空裝備在半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化突破。巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新材料,提高耐磨性。浦東新區(qū)巴頓2M4TGTY60分子泵軸承
額定載荷經(jīng)精確計(jì)算,新巴頓分子泵軸承滿足機(jī)械不同工況的負(fù)載需求。黃浦區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承
分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬(wàn) - 15 萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對(duì)軸承的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級(jí)制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對(duì)此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過(guò)優(yōu)化滾道弧度設(shè)計(jì),使軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的可靠性要求。黃浦區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承