基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設計，通過對比被測平面與標準參照鏡的干涉條紋變化，實現(xiàn)光學元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標準參照鏡面形精度通常達到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準方式：兩點對準系統(tǒng) [3-4]結構特性：小型化設計、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學元件表面面型2.質(zhì)量檢測：評估光學材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗：實驗室環(huán)境下進行精密光學計量分析雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中。江蘇新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設計、自動環(huán)境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。張家港本地雙頻激光干涉儀五星服務雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。

非接觸式測量：激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀，這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性：激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作?？垢蓴_能力強：雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時，應托住底座以防止導軌變形。光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發(fā)霉。

（5）數(shù)控機床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標準型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg廣泛應用：廣泛應用于材料科學、機械工程、光學測量、精密制造等領域。

激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴展；而且由于它的光束發(fā)散角小，能量集中，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變?yōu)殡娪嵦枺⒂捎嫈?shù)器一個不漏的記錄下來，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢，精度達到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學研究和工業(yè)應用中都具有重要的地位。張家港直銷雙頻激光干涉儀銷售廠

即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。江蘇新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

但是這種單頻的激光儀并非完美，它的一個根本弱點就是受環(huán)境影響嚴重，在測試環(huán)境惡劣，測量距離較長時，這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時，光電接收器會輸出信號，如果信號超過了計數(shù)器的觸發(fā)電平則就會被記錄下來，而如果激光束強度發(fā)生變化，就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù)，使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流，機床油霧，切削屑對光束的影響，結果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。江蘇新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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