五、潔凈室檢測的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè)：醫(yī)藥制造需要在無菌環(huán)境下完成，因此需要設(shè)立無菌車間（即“百級”車間）。該車間內(nèi)所有通風系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范，并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機構(gòu)審核。2.電子行業(yè)：由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成，在微電子制造廠中必須建立超純水站（UPW）以及超純氮氣站（NG）等設(shè)施來滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè)：航天器發(fā)射前需要進入“百萬級”或“十萬級”無菌車間進行組裝與測試。這些車間具有完成**終裝配所需條件（如真空環(huán)境），并能夠有效防止外界雜質(zhì)進入艙體內(nèi)部。運行確認是要證明廠房、設(shè)施和設(shè)備的穩(wěn)定、可靠的運行并符合設(shè)計的標準。江蘇潔凈工作臺檢測誠信推薦

（1）在靜態(tài)條件下潔凈室（區(qū)）監(jiān)測的懸浮粒子數(shù)、浮游菌數(shù)或沉降菌數(shù)必須符合規(guī)定。測試方法應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測試方法》GB/T16292、《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）浮游菌的測試方法》GB/T16293和《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）沉降菌的測試方法》GB/T16294的有關(guān)規(guī)定；（2）空氣潔凈度100級的潔凈室（區(qū)）應(yīng)對大于等于5μm塵粒的計數(shù)多次采樣，當大于等于5μm塵粒多次出現(xiàn)時，可認為該測試數(shù)值是可靠的。（3）潔凈室（區(qū)）的溫度和濕度，應(yīng)符合規(guī)定：生產(chǎn)工藝對溫度和濕度無特殊要求時，潔凈室（區(qū)）溫度應(yīng)為18～26℃，相對濕度應(yīng)為45%～65%（4）不同空氣潔凈度等級的潔凈室（區(qū)）之間以及潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的空氣靜壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈室（區(qū)）與室外大氣的靜壓差不應(yīng)小于10Pa。（5）潔凈室（區(qū)）應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求提供照度，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1)主要工作室一般照明的照度值宜為300lx。2)輔助工作室、走廊、氣閘室、人員凈化和物料凈化用室的照度值不宜低于150lx。3)對照度有特殊要求的生產(chǎn)部位可設(shè)置局部照明。山東電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強檢測過程中，應(yīng)確保所有設(shè)備處于正常工作狀態(tài)。

四、照度標準規(guī)定：潔凈區(qū)主要操作間照度不得少于300勒克斯，一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。潔凈區(qū)的照度檢查每年不得少于一次，在經(jīng)過設(shè)備大修、廠房改造、工藝布局調(diào)整等變更的時候應(yīng)在變更結(jié)束后重新檢測照度。檢測要求：室內(nèi)照度測度必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源光輸出趨于穩(wěn)定后進行（對熒光燈必須有100h）。檢測方法:測點平面離地面0.85m，按間距1-2m布點，測點距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求相同。記錄實測照度值并計算總的平均照度。照度測量一般*測定除局部照明之外的一般照明。

D.3.2靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區(qū))時，應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風側(cè)引入大于等于0.1um(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處，并應(yīng)以5~20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。潔凈室檢測時需特別注意對生物安全柜等特殊設(shè)備的檢測。

B.2.1.3粒徑限制器為獲得測量或驗證U描述符所需的計數(shù)效率特性，可在計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計數(shù)器（DPC)或凝聚核計數(shù)器的采樣管上，安裝一個粒徑限制器。改動后，計數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子，以準確且可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限制器多種多樣，其大小和配置各異，只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴散元件和虛擬撞擊器。透過率隨粒子的物理特性、限制器構(gòu)造和體積流量而變化。因此，使用粒徑限制器時要小心，它們只能用于規(guī)定的流量，安裝時要防靜電累積。為了減少電荷累積，粒徑限制器應(yīng)有良好的接地。根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型。山東電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強

定期對潔凈室管理人員進行培訓和考核，提升其專業(yè)素養(yǎng)。江蘇潔凈工作臺檢測誠信推薦

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響江蘇潔凈工作臺檢測誠信推薦