在過去相當長一段時期，由于受到西方國家的禁運限制，我國進口國外超精密機床嚴重受限。但當1998年我國自己的數(shù)控超精密機床研制成功后，西方國家馬上對我國開禁，我國現(xiàn)在已經(jīng)進口了多臺超精密機床。我國北京機床研究所、航空精密機械研究所（航空303）、哈爾濱工業(yè)大學、科技大學等單位現(xiàn)在已能生產(chǎn)若干種超精密數(shù)控金剛石機床。北京機床研究所是國內(nèi)進行超精密加工技術研究的主要單位之一，研制出了多種不同類型的超精密機床、部件和相關的高精度測試儀器等，如精度達0.025μm的精密軸承、JCS—027超精密車床、JCS—031超精密銑床、JCS—035超精密車床、超精密車床數(shù)控系統(tǒng)、復印機感光鼓加工機床、紅外大功率激光反射鏡、超精密振動－位移測微儀等，達到了國際先進水平。對于大件產(chǎn)品的加工，大件產(chǎn)品的模具制造費用很高，激光超精密加工不需任何模具制造。半導體加工超精密微孔

整個行業(yè)對半導體和相機模塊領域、MLCC生產(chǎn)領域、各種真空板領域、量子計算機組件等各種精密零件的需求不斷增加。擁有精密加工技術的企業(yè)有很多，但以自己的技術來應對MCT/高速加工/激光加工/精密磨削/精密測量的企業(yè)并不多。微泰是一家擁有這些自主技術的公司，以滿足對高精度和高質(zhì)量的不斷增長的需求，我們正在努力成為第四產(chǎn)業(yè)的小管理者中的公司，始終以帶頭解決客戶困難。精密的部件使精密的設備成為可能。作為合作伙伴供應商，我們供應各種精密零件，以便我們的客戶能夠開展可持續(xù)的業(yè)務。MLCC制造過程中濺射沉積過程中的掩模夾具在槽寬(+0.01)公差范圍內(nèi)加工，去毛刺，平整度很重要使用超精密激光設備進行高速加工。半導體和LCD零件用精密陶瓷零件的生產(chǎn)制作MLCC用分度臺及各種精密治具主要物料搬運氧化鋁（Al2O3），氧化鋯（白/黑ZrO2），氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)、氮化鋁(AlN)、多孔陶瓷（白色/棕色/灰色）。作為手機攝像頭模組生產(chǎn)過程中PCB與圖像傳感器貼合過程中使用的貼片貼合工具，保證了高良率和精度。原料:氧化鋁、AIN、銅應用:用于相機模塊生產(chǎn)的拾取和鍵合工具。超快超精密機器人零件超精密加工對工件材質(zhì)、加工設備、工具、測量和環(huán)境等條件都有要求，需要綜合應用精密機械和其他先進技術。

裝備零部件精密加工是綜合運用多種現(xiàn)代技術，通過多種成型手段將材料加工成預定產(chǎn)品，其產(chǎn)品具備高尺寸精度、高性能要求等特點，廣泛應用于航空航天、武器裝備、半導體等眾多領域3。例如南京藝匠精密科技有限公司在CNC汽車精密零部件、CNC家電設備零件精密加工、電子及通訊、CNC精密加工、波導精密加工等多方面提供精密加工服務。對于金屬和非金屬工件都能達到其他加工方法難以達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm，加工變質(zhì)層很小，表面質(zhì)量高。

通常，按加工精度劃分，機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm，公差等級在IT5以上的加工技術。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念，其間的界限將隨著加工技術的進步不斷變化，現(xiàn)在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字樣被緩慢地往下壓進底部，變成平滑表面看似現(xiàn)代科技的超精密加工，其實在上個世紀早已出現(xiàn)超精密加工的發(fā)展經(jīng)歷了如下三個階段：（1）20世紀50年代至80年代為技術開創(chuàng)期出于航天、大規(guī)模集成電路、激光等技術發(fā)展的需要，美國率先發(fā)展了超精密加工技術，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術導彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。（2）20世紀80年代至90年代為民間工業(yè)應用初期在相關機構的支持下，美國的摩爾公司、普瑞泰克公司開始超精密加工設備的商品化，而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學等也陸續(xù)推出產(chǎn)品，并開始用于民間工業(yè)光學組件的制造。但當時的超精密加工設備依然高貴而稀少，主要以特殊機的形式訂作。納米級的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。

現(xiàn)有物理打磨技術,接觸式加工,磨損基石，需要切削油,加工后需要清洗，異形件打磨和局部打磨有難度。納秒激光打磨有以下問題：產(chǎn)生細微裂紋，熔化-再凝固產(chǎn)生熱變形，表面物性發(fā)生變化，周圍會產(chǎn)生多個顆粒。飛秒激光打磨：改善現(xiàn)有打磨技術的問題-熱影響極小，可以局部打磨，異形件打磨，不需要化學藥劑-細微裂紋極少化表面物理特性變化少，在不改變物性值的情況下，提高表面粗糙度。高功率激光打磨：測量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉(zhuǎn)換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻畫低功率時具有，清洗效果；拋光效果（也有去除微孔邊緣毛刺的效果）拋光后，[AOI（自動光學檢查）]對孔不良進行檢測（手動或自動）（光學相機掃描儀）材料的邊緣測量和修正材料位置誤差。非常適合異形件打磨、拋光。局部打磨拋光。超精密激光切割集切割、雕刻、鏤空等工藝于一身，可以滿足各類材料的切割打孔，以及其他工藝需求。半導體加工超精密微孔

超精密激光切割技術已經(jīng)被應用于精密電子、裝飾、模具、手機數(shù)碼、鈑金和五金等行業(yè)。半導體加工超精密微孔

(2)超精密異形零件加工。例如航空高速多辨防滑軸承的內(nèi)滾道/激光陀螺微晶玻璃腔體，都是用超精密數(shù)控磨削加工而成的。陀螺儀框架與平臺是形狀復雜的高精度零件，是用超精密數(shù)控銑床加工的。(3)超精密光學零件加工。例如激光陀螺的反射鏡的平面度達0.05μm，表面粉糙度Rα達0.001μm、它是由超精密拋研加工、再進行鍍膜而成，要求反射率達99.99%?！└呔让闇氏到y(tǒng)要求小型化，所以用少量非球面鏡來代替復雜的光學系統(tǒng)。這些非球鏡是用超精密車、磨、研、拋加工而成的。近期，二元光學器件的理論研究進展很大，二元光學器件的制造設備是專門的超精密加工設備。在民用方面，隱形眼鏡就是用超精密數(shù)控車床加工而成的。計算機的硬盤、光盤、復印機等高技術產(chǎn)品的很多精密零件都是用超精密加工手段制成的。半導體加工超精密微孔