蒸發(fā)源或濺射源功能:用于蒸發(fā)鍍膜材料或濺射靶材,使膜體材料以氣態(tài)分子的形式釋放出來。類型:不同的鍍膜方法可能使用不同類型的鍍膜源,例如電子束蒸發(fā)器、濺射靶材、真空弧放電源等。
控制系統(tǒng)功能:用于監(jiān)控和控制整個設(shè)備的運行狀態(tài)和參數(shù),包括真空度、溫度、壓力、時間等。組成:主要包括真空計、流量計、觸摸屏、手動操作組和各類電源。通過觸摸屏可以完成全自動程序控制。
材料輸送系統(tǒng)功能:用于將待鍍膜物體和鍍膜材料引入腔體,并控制其位置和運動。組成:通常包括旋轉(zhuǎn)式臺面、電機傳動、氣缸等裝置。材料輸送系統(tǒng)可以分為上轉(zhuǎn)架和下轉(zhuǎn)架,以滿足不同鍍膜工藝的需求。 從實驗室研發(fā)到工業(yè)化量產(chǎn),真空鍍膜機以高精度推動技術(shù)革新。江蘇1680真空鍍膜機哪家強
磁控濺射技術(shù)在多個領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用,包括但不限于:微電子領(lǐng)域:用于制備歐姆接觸的金屬電極薄膜及介質(zhì)薄膜沉積等。光學領(lǐng)域:用于制備增透膜、低輻射玻璃和透明導電玻璃等。機械加工工業(yè):用于制作表面功能膜、超硬膜、自潤滑薄膜等,提高表面硬度、復合韌性、耐磨損性和抗高溫化學穩(wěn)定性能。此外,磁控濺射技術(shù)還在高溫超導薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池、記憶合金薄膜研究等方面發(fā)揮重要作用。綜上所述,磁控濺射技術(shù)是一種高效、低溫、環(huán)保的薄膜沉積技術(shù),具有廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿?。江蘇風鏡真空鍍膜機品牌真空鍍膜機在太陽能電池領(lǐng)域可降低反射率并提升光電效率。
蒸發(fā)鍍膜原理:
氣相沉積 - PVD 的一種)蒸發(fā)鍍膜是真空鍍膜機常見的工作方式之一。在蒸發(fā)源(如電阻加熱蒸發(fā)源、電子束加熱蒸發(fā)源等)中放置鍍膜材料。以電阻加熱蒸發(fā)源為例,當電流通過高電阻的加熱絲(如鎢絲)時,加熱絲會產(chǎn)生熱量。如果將鍍膜材料放置在加熱絲上或加熱絲附近,鍍膜材料會吸收熱量,當達到其熔點和沸點時,就會從固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)。例如,在鍍金屬薄膜(如鋁膜)時,鋁的熔點為 660℃左右。當加熱絲使鋁材料溫度升高到沸點后,鋁原子會以蒸汽的形式逸出。這些氣態(tài)的鋁原子在真空環(huán)境下,以直線的方式向各個方向擴散,當碰到基底(如玻璃、塑料等)表面時,由于基底表面的溫度較低,鋁原子會在基底表面凝結(jié),并且逐漸堆積形成一層連續(xù)的薄膜。
離子鍍膜機:
原理與構(gòu)造:離子鍍膜機將蒸發(fā)鍍膜與濺射鍍膜相結(jié)合,鍍膜材料在蒸發(fā)過程中部分被電離成離子,這些離子在電場作用下加速沉積到工件表面。其由真空室、蒸發(fā)源、離子源、工件架和真空系統(tǒng)組成。根據(jù)離子產(chǎn)生方式和鍍膜工藝,離子鍍膜機可分為空心陰極離子鍍膜機、多弧離子鍍膜機等??招年帢O離子鍍膜機利用空心陰極放電產(chǎn)生等離子體;多弧離子鍍膜機則通過弧光放電使靶材蒸發(fā)并電離。應(yīng)用場景在刀具涂層領(lǐng)域,離子鍍膜機為刀具鍍制氮化鈦、碳化鈦等硬質(zhì)薄膜,提升刀具的硬度、耐磨性和切削性能,延長刀具使用壽命。在手表、珠寶等裝飾行業(yè),鍍制氮化鈦等仿金薄膜,提升產(chǎn)品的美觀度和附加值。 蒸發(fā)式真空鍍膜機利用熱蒸發(fā)技術(shù),在基材表面形成致密金屬膜層。
鍍膜系統(tǒng)維護:
蒸發(fā)源或濺射靶:
維護蒸發(fā)源清潔:對于蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng),蒸發(fā)源在使用后會殘留有膜材。每次鍍膜結(jié)束后,要讓蒸發(fā)源自然冷卻,然后使用專門的清潔工具,如陶瓷刮刀,輕輕刮除蒸發(fā)源表面的殘留膜材。如果殘留膜材過多,會影響下一次鍍膜的膜層質(zhì)量。
濺射靶檢查和更換:在濺射鍍膜系統(tǒng)中,濺射靶的狀態(tài)直接影響鍍膜效果。要定期(根據(jù)濺射靶的使用壽命,一般為數(shù)千小時)檢查濺射靶的表面磨損情況。當濺射靶表面的膜材消耗到一定程度,或者出現(xiàn)表面不均勻、有缺陷等情況時,要及時更換濺射靶。 真空鍍膜機在汽車后視鏡制造中,可制備高反射率銀基多層增透膜。浙江真空鍍膜機哪家便宜
離子束輔助真空鍍膜技術(shù),通過離子轟擊改善薄膜晶體結(jié)構(gòu)取向性。江蘇1680真空鍍膜機哪家強
裝飾行業(yè):
首飾鍍膜:真空鍍膜機可用于為首飾(如金、銀、鉑金等)鍍制一層薄薄的金屬膜,以提高其光澤度和耐磨性。
鐘表鍍膜:在鐘表制造中,真空鍍膜機可用于為表盤、表殼等部件鍍制金屬膜或彩色膜,以增加其美觀性和耐用性。
汽車行業(yè):
汽車零部件鍍膜:真空鍍膜機可用于為汽車零部件(如車燈、反光鏡等)鍍制反射膜或增透膜,以提高其照明效果和安全性。
汽車裝飾:在汽車裝飾方面,真空鍍膜機可用于為車身、內(nèi)飾等部件鍍制金屬膜或彩色膜,以增加其豪華感和個性化。 江蘇1680真空鍍膜機哪家強