【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之灰點臟】: 現(xiàn)象:鏡片膜層表面或內部有一些電子(不是膜料點),有些可擦除,有些不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。 原因: 1. 真空室臟 2. 鏡圈或碟片臟 3. 鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。 4. 鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。 改善思路:杜絕灰塵源 1. 工作環(huán)境改造成潔凈車間,嚴格按潔凈車間規(guī)范實施。 2. 盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。 3. 真空室周期打掃,保持清潔。 真空鍍膜設備怎么維修。安徽線路板真空鍍膜設備
【真空鍍膜濺射種類】: 1、反應濺射:氧化物,氮化物作為沉積物質 現(xiàn)象:①:靶材分子分裂,其于工藝氣體離子發(fā)生反應,形成化合物 ②:膜層性能改變 ③:靶材有可能中毒 2、二極濺射:二極濺射是一種經典的標準濺射技術,其中等離子體和電子均只沿著電場方向運動。 特征:①:無磁場 ②:濺射率低 ③:放電電壓高(>500V) ④:鍍膜底物受熱溫度極易升高(>500°C) 用途:主要用于金屬靶材、絕緣靶材、磁性靶材等的濺射鍍。 3、磁控濺射:暗區(qū)無等離子體產生,在磁控濺射下,電子呈螺旋形運動,不會直接沖向陽極。而是在電場力和磁場力的綜合作用在腔室內做螺旋運動。同時獲的能量而和工藝氣體以及濺射出的靶材原子進行能量交換,使氣體及靶材原子離子化,dada提高氣體等離子體密度,從而提高了濺射速率(可提高10—20倍)和濺射均勻性。 浙江卷繞式真空鍍膜設備濺射類鍍膜是利用電子或高能激光轟擊靶材,使表面組分以原子團或離子形式濺射出來沉積在基片表面形成薄膜。
【真空鍍膜簡介】: 真空(vacuum)是一種沒有任何物質的空間狀態(tài),因為真空之中沒有介質,所以像聲音這種需要介質傳遞的能量在真空中是無法傳播的。1654年當時的馬德堡市zhang奧&托&格里克在今tian德國雷根斯堡進行了一項實驗,從而證明了真空是存在的?,F(xiàn)在我們所說的真空并不是指空間內沒有任何物質,而是指在一個既定的空間內低于一個大氣壓的氣體狀態(tài),我們把這種稀薄的狀態(tài)稱為真空。現(xiàn)在的真空鍍膜技術是在真空中把金屬、合金進行蒸發(fā)、濺射使其沉積在目標物體上。 在當今電子行業(yè),很多的電子元器件都要使用真空鍍膜工藝,雖然我國的真空鍍膜技術起步較晚,但發(fā)展的十分迅速。真空鍍膜已經成為電子元器件制造的一項不可或缺的技術。目前的真空鍍膜技術主要分為:真空蒸鍍、磁控濺射鍍膜、離子鍍。
【離子鍍膜法之直流二極型(DCIP)】: 直流二極型(DCIP):利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;被鍍基體作為陰極,利用高電壓直流輝光放電將充入的氣體氬(Ar)(也可充少量反應氣體)離化。這種方法的特點是:基板溫升大、繞射性好、附著性好,膜結構及形貌差,若用電子束加熱必須用差壓板;可用于鍍耐腐蝕潤滑機械制品。 【離子鍍膜法之多陰極型】: 多陰極型:利用電阻或電子束加熱使膜材氣化;依靠熱電子、陰極發(fā)射的電子及輝光放電使充入的真空惰性氣體或反應氣體離化。這種方法的特點是:基板溫升小,有時需要對基板加熱;可用于鍍精密機械制品、電子器件裝飾品。 真空鍍膜設備抽真空步驟。
【真空鍍膜反應磁控濺射法】: 制備化合物薄膜可以用各種化學氣相沉積或物理qi相沉積方法。但目前從工業(yè)大規(guī)模生產的要求來看,物理qi相沉積中的反應磁控濺射沉積技術具有明顯的優(yōu)勢,因而被guang泛應用,這是因為: 1、反應磁控濺射所用的靶材料(單元素靶或多元素靶)和反應氣體(氧、氮、碳氫化合物等)通常很容易獲得很高的純度,因而有利于制備高純度的化合物薄膜。 2、反應磁控濺射中調節(jié)沉積工藝參數(shù),可以制備化學配比或非化學配比的化合物薄膜,從而達到通過調節(jié)薄膜的組成來調控薄膜特性的目的。 3、反應磁控濺射沉積過程中基板溫度一般不會有很大的升高,而且成膜過程通常也并不要求對基板進行很高溫度的加熱,因此對基板材料的限制較少。 4、反應磁控濺射適于制備大面積均勻薄膜,并能實現(xiàn)單機年產上百萬平方米鍍膜的工業(yè)化生產。但是反應磁控濺射在20世紀90年代之前,通常使用直流濺射電源,因此帶來 了一些問題,主要是靶中毒引起的打火和濺射過程不穩(wěn)定,沉積速率較低,膜的缺陷密度較高,這些都限制了它的應用發(fā)展。 紅外真空鍍膜設備制造商。安徽真空鍍膜設備哪里有賣
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【真空鍍膜設備之真空的獲得】: 真空泵:真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。 按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣fan用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。 A、粗真空泵(Rough Vacuum Pump):一般用于抽粗真空,有油泵和 干泵。從結構上可分幾種: 旋轉葉片泵:油泵,極限真空可達10&3Torr,抽速1~650CFM 隔膜泵:干泵,極限真空1Torr左右,抽速<10CFM 往復式活塞泵:干泵,極限真空10&2Torr,抽速6~32CFM 渦旋式真空泵:干泵,極限真空10&2Torr,抽速12~25CFM 螺旋泵:干泵,極限真空10&3Torr,抽速30~318CFM 安徽線路板真空鍍膜設備
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